Термодинамическое исследование комплекса меди(I) как основа технологии химического газофазного осаждения

封面

如何引用文章

全文:

开放存取 开放存取
受限制的访问 ##reader.subscriptionAccessGranted##
受限制的访问 订阅存取

详细

Получены новые данные о термическом поведении и процессах сублимации и плавления (гексафторацетилацетонато)(циклооктадиен-1,5)меди, [Cu(cod)(hfac)]. Конденсированная фаза исследована методами термического и дифференциального термического анализа и дифференциальной сканирующей калориметрии: определены температура, энтальпия и энтропия плавления комплекса. Эффузионным методом Кнудсена с масс-спектрометрической регистрацией состава газовой фазы получена температурная зависимость давления насыщенного пара [Cu(cod)(hfac)] в интервале температур 293–337 K, рассчитаны термодинамические характеристики процесса сублимации при средней температуре экспериментального интервала и 298.15 K: ΔсублH0m (Tср) = 94.8 ± 1.5 кДж моль-1, ΔсублS0m (Tср) = 200.9 ± 3.2 Дж моль-1 K-1; ΔсублH0m (298.15 K) = 95.8 ± 3.1 кДж моль-1, ΔсублS0m (298.15 K) = 203.5 ± 6.6 Дж моль-1 K-1. Полученные величины сопоставлены с данными по аналогичному соединению иридия(I), [Ir(cod)(hfac)]. Результаты формируют подходы для оценки термодинамических свойств комплексов состава [M(cod)(hfac)] с целью определения оптимальных условий осаждения металлсодержащих покрытий. Подходы необходимы, когда соединения такого типа (например, [Ag(cod)(hfac)]) являются сверхчувствительными к процессу нагревания и отсутствует возможность определения надежных термодинамических характеристик экспериментальным путем.

作者简介

К. Жерикова

Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН

编辑信件的主要联系方式.
Email: ksenia@niic.nsc.ru
俄罗斯联邦, Новосибирск

С. Трубин

Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН

Email: ksenia@niic.nsc.ru
俄罗斯联邦, Новосибирск

Д. Пищур

Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН

Email: ksenia@niic.nsc.ru
俄罗斯联邦, Новосибирск

Н. Морозова

Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН

Email: ksenia@niic.nsc.ru
俄罗斯联邦, Новосибирск

参考

  1. Karakovskaya K.I., Dorovskikh S.I., Vikulova E.S. et al. // Coatings. 2021. V. 11. Nо 1. P. 78. doi: 10.3390/coatings11010078.
  2. Hnyk D., Bühl M., Brain P.T. et al. // J. Am. Chem. Soc. 2002. V. 124. Nо 27. P. 8078. doi: 10.1021/ja012505a.
  3. Baum Th.H., Larson C.E., Reynolds S.K. Ligand Stabilized +1 Metal Beta-diketonate Coordination Complexes and Their Use in Chemical Vapor Deposition of Metal Thin Films: Patent US-5096737-A. Publication Date: 1992-03-16. Assignee: International Business Machines Corp.
  4. Gao L., Härter P., Linsmeier Ch. et al. // Microelectron. Eng. 2005. V. 82. Nо 3–4. P. 296. doi: 10.1016/j.mee.2005.07.078.
  5. Xu C., Baum Th.H., Drive C., Rheingold A.L. // Chem. Mater. 1998. V. 10. Nо 9. P. 2329. doi: 10.1021/cm980346x
  6. Лозанов В.В., Ильин И.Ю., Морозова Н.Б. и др. // ЖНХ. 2020. Т. 65. № 11. С. 1570. (Lozanov V.V., Il’in I.Y., Morozova N.B. et al. // Russ. J. Inorg. Chem. 2020. V. 65. Nо 11. 1781). doi: 10.1134/S0036023620110108.
  7. Kuo Y.-L., Lee Ch., Chen G. et al. // Electrochem. Solid-State Lett. 2007. V. 10. Nо 5. P. D51. doi: 10.1149/1.2710956.
  8. Panin A.V., Shugurov A.R., Liskovskaya T.I. et al. // Proc. Electrochem. Soc. 2003. V. 2003-8. P. 1297
  9. Vikulova E.S., Karakovskaya K.I., Ilyin I.Y. et al. // Phys. Chem. Chem. Phys. 2021. V. 23. Nо 16. P. 9889. doi: 10.1039/D1CP00464F
  10. Vikulova E.S., Ilyin I.Y., Karakovskaya K.I. et al. // J. Coord. Chem. 2016. V. 69. Nо 15. P. 2281. doi: 10.1080/00958972.2016.1198955.
  11. Golrokhi Z., Chalker S., Sutcliffe Ch.J., Potter R.J. // Appl. Surf. Sci. 2016. V. 364. P. 789. doi: 10.1016/j.apsusc.2015.12.127.
  12. Chi K.M., Shin H.-K., Hampden-Smith M.J. et al. // Polyhedron. 1991. V. 10. Nо 19. P. 2293. doi: 10.1016/S0277-5387(00)86153-7.
  13. Fadeeva V.P., Tikhova V.D., Nikulicheva O.N. // J. Anal. Chem. 2008. V. 63. P. 1094. doi: 10.1134/S1061934808110142.
  14. Макаренко А.М., Куратьева Н.В., Пищур Д.П., Жерикова К.В. // ЖНХ. Т. 68. № 2. С. 221. (Makarenko A.M., Kuratieva N.V., Pischur D.P. et al. // Russ. J. Inorg. Chem. 2023. V. 68. Nо 2. P. 183. doi: 10.1134/S0036023622602215).
  15. Semyannikov P.P., Igumenov I.K., Trubin S.V. // Thermochim. Acta. 2005. V. 432. Nо 1. P. 91. doi: 10.1016/j.tca.2005.02.034.
  16. Гранкин В.М., Семянников П.П. // Приборы и техника эксперимента. 1991. № 4. С. 129.
  17. Сидоров А.Н., Коробов М.В., Журавлева Л.В. Масс-спектральные термодинамические исследования. М.: МГУ, 1985. 208 с.
  18. Kulikov D., Verevkin S.P., Heintz A. // J. Chem. Eng. Data. 2001. V. 46. Nо 6. P. 1593. doi: 10.1021/je010187p
  19. Kulikov D., Verevkin S.P., Heintz A. // Fluid Phase Equilib. 2001. V. 192. Nо 1–2. P. 187. doi: 10.1016/S0378-3812(01)00633-1
  20. Chickos J.S., Hosseini S., Hesse D.G., Liebman J.F. // Struct. Chem. 1993. V. 4. Nо 4. P. 271. doi: 10.1007/BF00673701.
  21. Acree W., Chickos J.S. // J. Phys. Chem. Ref. Data. 2016. V. 45. Nо 3. P. 033101. doi: 10.1063/1.4948363.
  22. Жерикова К.В., Макаренко А.М., Караковская К.И. и др. // ЖОХ. 2021. Т. 91. № 10. С. 1548. (Zherikova K.V., Makarenko A.M., Karakovskaya K.I. et al. // Russ. J. Gen. Chem. V. 91. Nо 10. P. 1990). doi: 10.1134/S1070363221100108.
  23. Zherikova K.V., Vikulova E.S., Makarenko A.M. et al. // Thermochim. Acta. 2020. V. 689. P. 178643. doi: 10.1016/j.tca.2020.178643
  24. Беспятов М.А., Черняйкин И.С., Кузин Т.М., Гельфонд Н.В. // Журн. физ. химии. 2022. T. 96. № 9. С. 1266. (Bespyatov M.A., Cherniaikin I.S., Kuzin T.M., Gel’fond N.V. // Russ. J. Phys. Chem. A. 2022. V. 96. Nо 9. P. 1865). doi: 10.1134/S0036024422090047.
  25. Verevkin S.P., Sazonova A.Y., Emel’yanenko V.N. et al. // J. Chem. Eng. Data 2015. V. 60. Nо 1. P. 89. doi: 10.1021/je500784s.

补充文件

附件文件
动作
1. JATS XML
下载

版权所有 © Russian Academy of Sciences, 2024

Согласие на обработку персональных данных с помощью сервиса «Яндекс.Метрика»

1. Я (далее – «Пользователь» или «Субъект персональных данных»), осуществляя использование сайта https://journals.rcsi.science/ (далее – «Сайт»), подтверждая свою полную дееспособность даю согласие на обработку персональных данных с использованием средств автоматизации Оператору - федеральному государственному бюджетному учреждению «Российский центр научной информации» (РЦНИ), далее – «Оператор», расположенному по адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А, со следующими условиями.

2. Категории обрабатываемых данных: файлы «cookies» (куки-файлы). Файлы «cookie» – это небольшой текстовый файл, который веб-сервер может хранить в браузере Пользователя. Данные файлы веб-сервер загружает на устройство Пользователя при посещении им Сайта. При каждом следующем посещении Пользователем Сайта «cookie» файлы отправляются на Сайт Оператора. Данные файлы позволяют Сайту распознавать устройство Пользователя. Содержимое такого файла может как относиться, так и не относиться к персональным данным, в зависимости от того, содержит ли такой файл персональные данные или содержит обезличенные технические данные.

3. Цель обработки персональных данных: анализ пользовательской активности с помощью сервиса «Яндекс.Метрика».

4. Категории субъектов персональных данных: все Пользователи Сайта, которые дали согласие на обработку файлов «cookie».

5. Способы обработки: сбор, запись, систематизация, накопление, хранение, уточнение (обновление, изменение), извлечение, использование, передача (доступ, предоставление), блокирование, удаление, уничтожение персональных данных.

6. Срок обработки и хранения: до получения от Субъекта персональных данных требования о прекращении обработки/отзыва согласия.

7. Способ отзыва: заявление об отзыве в письменном виде путём его направления на адрес электронной почты Оператора: info@rcsi.science или путем письменного обращения по юридическому адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А

8. Субъект персональных данных вправе запретить своему оборудованию прием этих данных или ограничить прием этих данных. При отказе от получения таких данных или при ограничении приема данных некоторые функции Сайта могут работать некорректно. Субъект персональных данных обязуется сам настроить свое оборудование таким способом, чтобы оно обеспечивало адекватный его желаниям режим работы и уровень защиты данных файлов «cookie», Оператор не предоставляет технологических и правовых консультаций на темы подобного характера.

9. Порядок уничтожения персональных данных при достижении цели их обработки или при наступлении иных законных оснований определяется Оператором в соответствии с законодательством Российской Федерации.

10. Я согласен/согласна квалифицировать в качестве своей простой электронной подписи под настоящим Согласием и под Политикой обработки персональных данных выполнение мною следующего действия на сайте: https://journals.rcsi.science/ нажатие мною на интерфейсе с текстом: «Сайт использует сервис «Яндекс.Метрика» (который использует файлы «cookie») на элемент с текстом «Принять и продолжить».