Nanoporosity of Si (100) bars

N. N. Gerasimenko; D. I. Smirnov; S. N. Novikov; S. P. Timoshenkov; V. S. Minaev; E. P. Goryunova

doi:10.1134/S0036024416090211

Nanoporosity of Si (100) bars

Авторлар: Gerasimenko N.N.¹^,2^,3, Smirnov D.I.¹^,2, Novikov S.N.¹, Timoshenkov S.P.¹, Minaev V.S.¹, Goryunova E.P.¹
Мекемелер:
1. National Research University of Electronic Technology (MIET)
2. Lebedev Institute of Physics
3. National Research Tomsk State University
Шығарылым: Том 90, № 9 (2016)
Беттер: 1869-1874
Бөлім: Physical Chemistry of Nanoclusters and Nanomaterials
URL: https://bakhtiniada.ru/0036-0244/article/view/168772
DOI: https://doi.org/10.1134/S0036024416090211
ID: 168772

Дәйексөз келтіру

Толық мәтін

Ашық рұқсат
Рұқсат жабық

Рұқсат берілді
Рұқсат жабық

Тек жазылушылар үшін

Аннотация
Авторлар туралы
Әдебиет тізімі
Қосымша файлдар
Статистика

Аннотация

Si(100) samples cut from a typical bar (100 mm in diameter) prepared using industrial technology are studied. Measurements of the electron work function (EWF) show that the size effects in these samples (a reduction in thickness along with a sample’s area and the EWF) detected earlier were due to nanostructure porosity that was buried by the technological treatment of a bar’s surface. This hidden nanoporosity is assumed to be a manifestation of the secondary crystal structure.