The Design and Characteristics of a 630-mm Phase-Shifting Interferometer

D. E. Silin; I. E. Kozhevatov; E. H. Kulikova; A. V. Pigasin; S. B. Speransky; S. A. Bel’kov; I. N. Derkach; D. I. Lobachev; I. E. Chernov

doi:10.1134/S0020441218020215

The Design and Characteristics of a 630-mm Phase-Shifting Interferometer

Авторлар: Silin D.E.¹, Kozhevatov I.E.¹, Kulikova E.H.¹, Pigasin A.V.¹, Speransky S.B.¹, Bel’kov S.A.², Derkach I.N.², Lobachev D.I.², Chernov I.E.²
Мекемелер:
1. Federal Research Center, Institute of Applied Physics
2. Russian Federal Nuclear Center
Шығарылым: Том 61, № 3 (2018)
Беттер: 393-399
Бөлім: General Experimental Techniques
URL: https://bakhtiniada.ru/0020-4412/article/view/160232
DOI: https://doi.org/10.1134/S0020441218020215
ID: 160232

Дәйексөз келтіру

Толық мәтін

Ашық рұқсат
Рұқсат жабық

Рұқсат берілді
Рұқсат жабық

Тек жазылушылар үшін

Аннотация
Авторлар туралы
Әдебиет тізімі
Қосымша файлдар
Статистика

Аннотация

A large-aperture Fizeau interferometer has been developed for measuring the characteristics of optical elements with flat surfaces. The interferometer has two fields of view with dimensions of 630 and 100 mm and with transverse resolutions of 0.63 and 0.1 mm/pixel, respectively. Due to the calibration of the reference plates, the absolute measurement accuracy of the interferometer is λ/1000 RMS (λ = 632.8 nm) on a 630-mm field of view.