Metody formirovaniya mikrorel'efa dlya sintezadifraktsionnykh opticheskikh elementov


Cite item

Full Text

Abstract

Проанализированы способы изготовления поверхностного рельефа. Определены требования к микрорельефу,
исходя из фазовой функции дифракционных оптических элементов. Рассмотрены методы
формирования микрорельефа дифракционных оптических элементов.

About the authors

A V Volkov

References

  1. Каледин Б.Ф., Мальцев М.Д., Скороходов Л.И. Производство оптико-электронных приборов. М.: Машиностроение, 1981, 98 с.
  2. Элементы оптоэлектронных устройств /Под ред. П.И.Госкова. Барнаул: БГУ. 1969.153 с.
  3. Сойфер В.А. Введение в дифракционную микроопгику. Самара: СГАУ. 1996. 94 с.
  4. Программное обеспечение по компьютерной оптике / С. Г. Волотовский, М.А. Голуб, Л.Л. Досколович, И.Л. Казанский, B.C. Павельев, П.Г. Серафимович, B.A. Сойфер, С.И. Харитонов, А.Е. Царегородцев // Компьютерная оптика. М.: МЦНТИ, 1995, 14-15. С. 94-106.
  5. Soifer V.A., Golub М.А, Diffractive micro-optical elements with non-point response // Proceedings SPIE, 1992, № 1751. P.140-154.
  6. Bryndahl O. Formation of Blazed Grating. // J. Opt. Soc. Am, 1970. 60. P. 140-145.
  7. Досколович Л.Л., Казанский Н.Л., Сойфер B.A. Расчет двухпорядковых фокусаторов // Автометрия, 1993, №1.С. 58-63.
  8. Curcio М. Diamond machining of infrared optics utilizing two-axis machine technology // Proceedings SPIE. 1981. № 306. P. 105-113.
  9. Clark P.P., Londono C. Production of kinoform by single point diamond machining // Optics News. 1989. .№ 15, P.39-40.
  10. Булатов Е.Д., Гридин С.A., Даниленко А.А. Изготовление элементов плоской оптики миллиметрового и субмиллиметрового диапазона на серийных промышленных станках с числовым программным управлением // Компьютерная оптика. М.: МЦНТИ, 1987. № 1. С. 167-173.
  11. Sweeney D. W., Sommargren G.E. Hannonic diffractive lenses //Applied Optics. 1995. V. 34, № 14. P. 2469-2475.
  12. Бобров С. Т., Туркевич Ю.Г, Применение лазеров в системах преобразования, передачи и обработки ршформации. л., 1978, С.73-77.
  13. Гуревич С.Б., Ильяшенко КН., Коломиец Б.Т. Оптические методы обработки информации. Л.: Наука, 1974. С. 117-134.
  14. Гейсрух Г.И., Ефименко И.М., Степанов С.А. Отика градиентных и дифракционных элементов, М.: Радио и связь, 1990.136 с.
  15. Грищенко В.К, Маслюк А.Ф., Гундзера С.С. Жидкие фотополимеризующиеся композиции. Киев: Наукова думка, 1985.143 с.
  16. Введение в фотолитографию / Под ред. В.П. Лаврищева. М.: Энергия, 1997. 36 с.
  17. Swanson G.J. Binary optics technology: the theory and design of multi-level diffractive optical elements // Technical Report 854. Lincohi Laboratory. Cambridge: Mass. Inst, of Technology, 1989. 265 p.
  18. Golub M.A. Rybakov O.E., Uspleniev G.V., Volkov A.V., Volotovsky S.G. The technology of fabricating focusators of infrared laser radiation // Optics & Laser Technology. Vol. 27. № 4. 1995. P. 215-218.
  19. Черняев B.H. Технология прогаводства интегральных микросхем. М.: Энергия, 1977. 375 с.
  20. Ефимов И.Е., Козырь И.Я. Основы микроэлектроники. М.: Высш. школа, 1983. 384 с.
  21. Volkov А. V., Kazanskiy N.L. Moiseyev OYu. Soifer V.A. A Method for the Diffractive Microrelief Formation Using the Layered Photoresist Growth // Optics and Lasers in Engineering. 1998. №29. P. 281-285.
  22. Готра З.Ю. Технология микроэлектронных устройств. М.: Радио и связь, 1991. 528 с.
  23. Волков А.В., Казанский К.Л., Моисеев О.Ю., Сойфер В.А. Методы формирования дифракционного микрорельефа на основе послойного наращивания фоторезиста // Компьютерная оптика. 1996. № 16. С. 12-15.
  24. Электронно-лучевая литография в изготовлении микроэлектронных приборов: Пер. с англ. Под ред. Дж. Р. Брю- эра. М.: Радио и связь, 1984. 336 с.
  25. Вебер Э., Юрке Г. Высокопроизводительные сканирующие электронно-лучевые системы в технологии ИС // Электроника. Т.50. № 23.1977. С. 18-24.
  26. Duparre' М., Pavelyev V, S., Luedge В., Kley Е.-В.; Kowarschik К, Soifer V. А. Iterative calculation, manufacture and investigation of DOE forming unimodal complex distributions // Proceedings SPIE. 1997. Vol. 3110. P. 5-9.
  27. Duparre' M., Pavelyev V. S, Luedge В., Kley E.-B., Kowarschik R, Soifer V. A. Forming of selected unimodal complex amplitude distributions by means of novel DOEs of MODAN-type // Proceedings SPIE. Vol. 3134 "Optical Manufacturing and Testing II". H. Philip Stahl, ed.. 1997. P. 357-368.
  28. Бруй Е.Б., Корешев СН. Особенности использования тонких слоев фотоэмульсии ПЭ-2 для получения низкочастотных рельефных голографических структур // Оптика и спектроскопия. 1989. Т.67. В.З. С. 685-688.
  29. Корешев С.Н., Гиль СВ. О форме профиля низкочастотных голограммных структур, получаемых на тонких слоях фотоэмульсии ПЭ-2 // Оптика и спектроскопия. 1990. Т.68. №.2. 422 с.
  30. Гальперн А.Д., Смаев В.П., Селявко Л.В., Шелехов Н.С. Рельефно-фазовые голограммы на галоцдо-серебряных материалах и их копирование методом термополимеризации. // Высокоэффективные среды для записи голограмм. Сб. науч. тр. ЛФТИ. Д., 1988. С.100-107.
  31. Doskolovich L.L., Kazanskiy N.L., Kharitonov S.I., Uspleniev G. V. Focusators for Laser-Dranding // Optics and Lasers in Engineering. № 15.1991. P. 24-32.
  32. Голуб A.M., Карпеев C.B., Мурзин С.П., Овчинников К.В., Соловьев B.C., Шинкарев М.В. Автоматизированная технология изготовления фокусаторов ИК диапазона // Оптическая запись и обработка информации: Сб. науч. тр. КуАИ. Куйбьппев, 1988. С. 14-18.
  33. Арефьев Е.Ю., Гилев В.А., Голуб М.А., Казанский И.Л, Карпеев СВ., Сисакян КН., Сойфер В.А., Соловьев B.C., Тихонов Д. К, Уваров Г В. Экспериментальное исследование плоского оптического элемента, фокусирующего в кольцо.// Компьютерная оптика. 5. М.: МЦНТИ, 1989. С. 49-54.
  34. А.С. №1624864. Способ изготовления рельефно-фазовых голограмм фокусирующих элементов / B.C. Соловьев, B.A. Сойфер, И.Н. Сисакян, Ю.Б. Бойко, В.М. Гранчак, И.И Дилунг.
  35. Карпеев С.В., Соловьев B.C. Методы получения рельефных изображений с непрерывным профилем // Компьютерная оптика. № 4. М.: МЦНТИ, 1989. С. 34-36.
  36. Соловьев B.C. Исследование поведения слоя жидкой фотополимеризующейся композиции во время рельефообразования // Компьютерная оптика. М.: МЦНТИ, 1989. № 10-11. С. 21-24.
  37. Волков А.В., Волотовский С.Г, Гранчак В.М., Казанский К.Л, Моисеев О.Ю., Сойфер В.А., Соловьев В.С., Якуненкова Д.М. Экспериментальное исследование массопереноса в жидких фотополимеризующихся композициях // ЖТФ. Т.65. № 9. 1995. С. 181-185.
  38. Перло П, Синези С, Рипетто М., Успленьев Г. В. Использование круговой лазерной записьюающей системы для изготовления полутоновых шаблонов дифракционных оптических элементов на основе DLW glass пластинок // Компьютерная оптика. М.: МЦНТИ, 1997, № 17. С.85-93.
  39. Корольков В.П, Малышев А.И., Никитин В.Г, Полещук А.Г, и др. Полутоновые фотошаблоны на основе DLW- стекол // Автометрия. 1998. № 6. С.27-37.
  40. Корольков В.П., Малышев А.К., Никитин В.Г., Полещук А.Г. и др. Изготовление высокоэффективных ДОЭ с помощью полутоновых фотошаблонов на основе DLW-стекол // Компьютерная оптика. М.: МЦНТИ, 1998. № 18. С.121-126.

Supplementary files

Supplementary Files
Action
1. JATS XML
Download

Copyright (c) 1970 Samara State Technical University

Creative Commons License
This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.

Согласие на обработку персональных данных с помощью сервиса «Яндекс.Метрика»

1. Я (далее – «Пользователь» или «Субъект персональных данных»), осуществляя использование сайта https://journals.rcsi.science/ (далее – «Сайт»), подтверждая свою полную дееспособность даю согласие на обработку персональных данных с использованием средств автоматизации Оператору - федеральному государственному бюджетному учреждению «Российский центр научной информации» (РЦНИ), далее – «Оператор», расположенному по адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А, со следующими условиями.

2. Категории обрабатываемых данных: файлы «cookies» (куки-файлы). Файлы «cookie» – это небольшой текстовый файл, который веб-сервер может хранить в браузере Пользователя. Данные файлы веб-сервер загружает на устройство Пользователя при посещении им Сайта. При каждом следующем посещении Пользователем Сайта «cookie» файлы отправляются на Сайт Оператора. Данные файлы позволяют Сайту распознавать устройство Пользователя. Содержимое такого файла может как относиться, так и не относиться к персональным данным, в зависимости от того, содержит ли такой файл персональные данные или содержит обезличенные технические данные.

3. Цель обработки персональных данных: анализ пользовательской активности с помощью сервиса «Яндекс.Метрика».

4. Категории субъектов персональных данных: все Пользователи Сайта, которые дали согласие на обработку файлов «cookie».

5. Способы обработки: сбор, запись, систематизация, накопление, хранение, уточнение (обновление, изменение), извлечение, использование, передача (доступ, предоставление), блокирование, удаление, уничтожение персональных данных.

6. Срок обработки и хранения: до получения от Субъекта персональных данных требования о прекращении обработки/отзыва согласия.

7. Способ отзыва: заявление об отзыве в письменном виде путём его направления на адрес электронной почты Оператора: info@rcsi.science или путем письменного обращения по юридическому адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А

8. Субъект персональных данных вправе запретить своему оборудованию прием этих данных или ограничить прием этих данных. При отказе от получения таких данных или при ограничении приема данных некоторые функции Сайта могут работать некорректно. Субъект персональных данных обязуется сам настроить свое оборудование таким способом, чтобы оно обеспечивало адекватный его желаниям режим работы и уровень защиты данных файлов «cookie», Оператор не предоставляет технологических и правовых консультаций на темы подобного характера.

9. Порядок уничтожения персональных данных при достижении цели их обработки или при наступлении иных законных оснований определяется Оператором в соответствии с законодательством Российской Федерации.

10. Я согласен/согласна квалифицировать в качестве своей простой электронной подписи под настоящим Согласием и под Политикой обработки персональных данных выполнение мною следующего действия на сайте: https://journals.rcsi.science/ нажатие мною на интерфейсе с текстом: «Сайт использует сервис «Яндекс.Метрика» (который использует файлы «cookie») на элемент с текстом «Принять и продолжить».