Extremely deep profiling analysis of the atomic composition of thick (>100 μm) GaAs layers within power PIN diodes by secondary ion mass spectrometry


Цитировать

Полный текст

Открытый доступ Открытый доступ
Доступ закрыт Доступ предоставлен
Доступ закрыт Только для подписчиков

Аннотация

A new opportunity to analyze the atomic composition of thick (>100 μm) epitaxial GaAs layers by SIMS with lateral imaging of the cross section of a structure is demonstrated. The standard geometry of ldepth analysis turns out to be less informative owing to material redeposition from the walls of a crater to its floor occurring when the crater depth reaches several micrometers. The profiles of concentration of doping impurities Te and Zn and concentrations of Al and major impurities in PIN diode layers are determined down to a depth of 130 μm. The element sensitivity is at the level of 1016 at/cm3 (typical for depth analysis at a TOF.SIMS-5 setup), and the resolution is twice the diameter of the probing beam of Bi ions. The possibility of enhancing the depth resolution and the element sensitivity of the proposed analysis method is discussed.

Об авторах

M. Drozdov

Institute for Physics of Microstructures; Lobachevsky State University of Nizhny Novgorod

Автор, ответственный за переписку.
Email: drm@ipm.sci-nnov.ru
Россия, Nizhny Novgorod, 603950; Nizhny Novgorod, 603950

Yu. Drozdov

Institute for Physics of Microstructures; Lobachevsky State University of Nizhny Novgorod

Email: drm@ipm.sci-nnov.ru
Россия, Nizhny Novgorod, 603950; Nizhny Novgorod, 603950

P. Yunin

Institute for Physics of Microstructures; Lobachevsky State University of Nizhny Novgorod

Email: drm@ipm.sci-nnov.ru
Россия, Nizhny Novgorod, 603950; Nizhny Novgorod, 603950

P. Folomin

National University of Science and Technology MISiS

Email: drm@ipm.sci-nnov.ru
Россия, Moscow, 119049

A. Gritsenko

National University of Science and Technology MISiS

Email: drm@ipm.sci-nnov.ru
Россия, Moscow, 119049

V. Kryukov

MeGa Epitech

Email: drm@ipm.sci-nnov.ru
Россия, Kaluga, 248033

E. Kryukov

MeGa Epitech

Email: drm@ipm.sci-nnov.ru
Россия, Kaluga, 248033

Дополнительные файлы

Доп. файлы
Действие
1. JATS XML

© Pleiades Publishing, Ltd., 2016

Согласие на обработку персональных данных с помощью сервиса «Яндекс.Метрика»

1. Я (далее – «Пользователь» или «Субъект персональных данных»), осуществляя использование сайта https://journals.rcsi.science/ (далее – «Сайт»), подтверждая свою полную дееспособность даю согласие на обработку персональных данных с использованием средств автоматизации Оператору - федеральному государственному бюджетному учреждению «Российский центр научной информации» (РЦНИ), далее – «Оператор», расположенному по адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А, со следующими условиями.

2. Категории обрабатываемых данных: файлы «cookies» (куки-файлы). Файлы «cookie» – это небольшой текстовый файл, который веб-сервер может хранить в браузере Пользователя. Данные файлы веб-сервер загружает на устройство Пользователя при посещении им Сайта. При каждом следующем посещении Пользователем Сайта «cookie» файлы отправляются на Сайт Оператора. Данные файлы позволяют Сайту распознавать устройство Пользователя. Содержимое такого файла может как относиться, так и не относиться к персональным данным, в зависимости от того, содержит ли такой файл персональные данные или содержит обезличенные технические данные.

3. Цель обработки персональных данных: анализ пользовательской активности с помощью сервиса «Яндекс.Метрика».

4. Категории субъектов персональных данных: все Пользователи Сайта, которые дали согласие на обработку файлов «cookie».

5. Способы обработки: сбор, запись, систематизация, накопление, хранение, уточнение (обновление, изменение), извлечение, использование, передача (доступ, предоставление), блокирование, удаление, уничтожение персональных данных.

6. Срок обработки и хранения: до получения от Субъекта персональных данных требования о прекращении обработки/отзыва согласия.

7. Способ отзыва: заявление об отзыве в письменном виде путём его направления на адрес электронной почты Оператора: info@rcsi.science или путем письменного обращения по юридическому адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А

8. Субъект персональных данных вправе запретить своему оборудованию прием этих данных или ограничить прием этих данных. При отказе от получения таких данных или при ограничении приема данных некоторые функции Сайта могут работать некорректно. Субъект персональных данных обязуется сам настроить свое оборудование таким способом, чтобы оно обеспечивало адекватный его желаниям режим работы и уровень защиты данных файлов «cookie», Оператор не предоставляет технологических и правовых консультаций на темы подобного характера.

9. Порядок уничтожения персональных данных при достижении цели их обработки или при наступлении иных законных оснований определяется Оператором в соответствии с законодательством Российской Федерации.

10. Я согласен/согласна квалифицировать в качестве своей простой электронной подписи под настоящим Согласием и под Политикой обработки персональных данных выполнение мною следующего действия на сайте: https://journals.rcsi.science/ нажатие мною на интерфейсе с текстом: «Сайт использует сервис «Яндекс.Метрика» (который использует файлы «cookie») на элемент с текстом «Принять и продолжить».