Обработка пластин карбида кремния связанным алмазным инструментом

Обложка

Цитировать

Полный текст

Открытый доступ Открытый доступ
Доступ закрыт Доступ предоставлен
Доступ закрыт Только для подписчиков

Аннотация

В статье рассмотрены результаты, полученные в процессе грубого, тонкого и финишного шлифования пластин поликристаллического и монокристаллического карбида кремния с использованием новых типов связанного алмазного инструмента на органической связке и нового состава смазочно-охлаждающей жидкости (СОЖ).

Об авторах

В. С. Кондратенко

МИРЭА – Российский технологический университет

Email: kondratenko@mirea.ru
Москва, Россия

А. А. Исаев

МИРЭА – Российский технологический университет

Москва, Россия

В. В. Кадомкин

МИРЭА – Российский технологический университет

Москва, Россия

Г. М. Бирюков

МИРЭА – Российский технологический университет

Москва, Россия

И. И. Бородынкин

МИРЭА – Российский технологический университет

Москва, Россия

А. Д. Тамбовский

АО “ЛЗОС”

Email: tambovskii@lzos.ru
Московская область, Лыткарино, Россия

Список литературы

  1. Зломанов В.П . Карбид кремния, Научно-образовательный портал “Большая российская энциклопедия”. https: //b igenc.ru/c/karbid-kremniia-05308c. Опубликовано 26.06.2023 г.
  2. Ивенин С.В . Обработка пластин монокристаллического карбида кремния // Вестник Мордовского университета, 2015. Т. 25. № 4. С. 37–47. https://doi.org/10.15507/0236-2910.025.201504.037
  3. Трофимов А.А . Режимы шлифования и полирования пластин из сапфира и карбида кремния, содержащих СВЧ монолитные интегральные схемы // Прикладная физика, 2017. № 3. С. 89–95.
  4. Алехин С.С . Технологическое обеспечение качества и ограничение трещинообразования при абразивной обработке алмазными пастами тонких пластин из карбида кремния, Диссертация канд. техн. наук. Брянск, 2023, http: //w ww.tu-bryansk.ru/mainpage/dissertatsii/alekhin-sergey-sergeevich
  5. Кондратенко В.С . Алмазная обработка материалов, Монография. М.: Машиностроение. 2011. 191 с. ISBN978 - 5 - 94275 - 564 - 5
  6. Кондратенко В. С., Кобыш А.Н., Рогов А.Ю. Шлифовка и полировка по-новому // “ РИТМ ” , № 1. 2015. С. 34–40.
  7. Кондратенко В.С . Высокоэффективные технологии обработки материалов на базе новых типов алмазного инструмента // Стекло и керамика , 2018. № 5 . С. 39–43.
  8. Kondratenko V.S . High-Efficiency Materials-Processing Technology Based on New Types of Diamond Tools // Glass and Ceramics, 2018, Vol. 75. Iss. 5–6, Pp. 202–205.
  9. Кондратенко В.С., Кадомкин В.В . Расчет тепловых процессов в связанном алмазном инструменте при шлифовании стекла и других материалов // Стекло и керамика, 2018, № 11, С. 13–21.
  10. Kondrate nko V.S., Kadomkin V.V . Calculation of Thermal Processes in a Bonded Diamond Tool During Grinding of Glass and Other Materials // Glass and Ceramics . 2019. Vol. 75. No. 11–12. Pp. 428– 434.
  11. Кондратенко В.С., Кудж С.А., Кадомкин В.В., Ващенко О.А . Влияние теплофизических процессов в связанном алмазном инструменте на параметры обработки оптических материалов // Оптический журнал , 2020. Т. 87. № 5 . С. 81–88.
  12. Kondratenko V.S., Kudzh S.A. , Kadomkin V.V., Vashchenko O . A . Influence of Thermophysical Processes in Bonded Diamond Tools on the Processing Parameters of Optical Materials // J. of Optical Technology, 2020. Т. 87. № 5. Pp. 313–317.
  13. Кондратенко В.С., Кобыш А.Н., Ки сляченко В.Г., Там бовский А.Д . Оптимизация состава смазочно-охлаждающей жидкости для шлифования различных материалов связанным алмазным инструментом // Сборник докладов МНТК “ Перспективные материалы и технологии (ПМТ-2024) ” , 2024, T . 1. С. 548–552.
  14. Кондратенко В.С ., Гиндин П.Д., Бурляй Д.А. и др . Новый алмазный инструмент для обработки оптических материалов // Оптический журнал, 2017. Т. 84. № 6. С. 54–57.
  15. Кондратенко В.С., Исаев А.А., Кобыш А.Н . и др. Разработка связанного алмазного инструмента для обработки карбида кремния // Сборник докладов МНТК “ Оптические технологии, материалы и системы (Оптотех-2024) ” , 2024. С. 158–163.

Дополнительные файлы

Доп. файлы
Действие
1. JATS XML
Скачать

© Российская академия наук, 2025

Согласие на обработку персональных данных с помощью сервиса «Яндекс.Метрика»

1. Я (далее – «Пользователь» или «Субъект персональных данных»), осуществляя использование сайта https://journals.rcsi.science/ (далее – «Сайт»), подтверждая свою полную дееспособность даю согласие на обработку персональных данных с использованием средств автоматизации Оператору - федеральному государственному бюджетному учреждению «Российский центр научной информации» (РЦНИ), далее – «Оператор», расположенному по адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А, со следующими условиями.

2. Категории обрабатываемых данных: файлы «cookies» (куки-файлы). Файлы «cookie» – это небольшой текстовый файл, который веб-сервер может хранить в браузере Пользователя. Данные файлы веб-сервер загружает на устройство Пользователя при посещении им Сайта. При каждом следующем посещении Пользователем Сайта «cookie» файлы отправляются на Сайт Оператора. Данные файлы позволяют Сайту распознавать устройство Пользователя. Содержимое такого файла может как относиться, так и не относиться к персональным данным, в зависимости от того, содержит ли такой файл персональные данные или содержит обезличенные технические данные.

3. Цель обработки персональных данных: анализ пользовательской активности с помощью сервиса «Яндекс.Метрика».

4. Категории субъектов персональных данных: все Пользователи Сайта, которые дали согласие на обработку файлов «cookie».

5. Способы обработки: сбор, запись, систематизация, накопление, хранение, уточнение (обновление, изменение), извлечение, использование, передача (доступ, предоставление), блокирование, удаление, уничтожение персональных данных.

6. Срок обработки и хранения: до получения от Субъекта персональных данных требования о прекращении обработки/отзыва согласия.

7. Способ отзыва: заявление об отзыве в письменном виде путём его направления на адрес электронной почты Оператора: info@rcsi.science или путем письменного обращения по юридическому адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А

8. Субъект персональных данных вправе запретить своему оборудованию прием этих данных или ограничить прием этих данных. При отказе от получения таких данных или при ограничении приема данных некоторые функции Сайта могут работать некорректно. Субъект персональных данных обязуется сам настроить свое оборудование таким способом, чтобы оно обеспечивало адекватный его желаниям режим работы и уровень защиты данных файлов «cookie», Оператор не предоставляет технологических и правовых консультаций на темы подобного характера.

9. Порядок уничтожения персональных данных при достижении цели их обработки или при наступлении иных законных оснований определяется Оператором в соответствии с законодательством Российской Федерации.

10. Я согласен/согласна квалифицировать в качестве своей простой электронной подписи под настоящим Согласием и под Политикой обработки персональных данных выполнение мною следующего действия на сайте: https://journals.rcsi.science/ нажатие мною на интерфейсе с текстом: «Сайт использует сервис «Яндекс.Метрика» (который использует файлы «cookie») на элемент с текстом «Принять и продолжить».