PROBE AND SPECTRAL DIAGNOSTICS OF PLASMA GAS ENVIRONMENT: BCl3-Cl2

D. B. Murin; Мурин Д. Б.; I. A. Chesnokov; Чесноков И. А.; I. A. Gogulev; Гогулев И. А.; A. E. Grishkov; Гришков А. Э.

doi:10.31857/S0544126923600161

Зондовая и спектральная диагностика плазмы газовой среды: BCl₃–Cl₂

Авторы: Мурин Д.Б.¹, Чесноков И.А.¹, Гогулев И.А.¹, Гришков А.Э.¹
Учреждения:
1. Ивановский государственный химико-технологический университет
Выпуск: Том 52, № 6 (2023)
Страницы: 443-448
Раздел: ДИАГНОСТИКА
URL: https://bakhtiniada.ru/0544-1269/article/view/231892
DOI: https://doi.org/10.31857/S0544126923600161
EDN: https://elibrary.ru/QSSBTX
ID: 231892

Цитировать

Полный текст

Открытый доступ
Доступ закрыт

Доступ предоставлен
Доступ закрыт

Только для подписчиков

Аннотация
Об авторах
Список литературы
Дополнительные файлы
Статистика

Аннотация

Проведены зондовые и спектральные измерения плазмы газовой среды BCl₃–Cl₂. Получены данные по влиянию начального состава газовой среды на напряженность электрического поля, температуру газа, концентрацию частиц, приведенную напряженности электрического поля в условиях тлеющего разряда постоянного тока. Проанализированы спектры излучения плазмы газовой среды BCl₃–Cl₂, идентифицированы основные излучающих компонентов и установлены взаимосвязи между интенсивностями излучения и концентрациями частиц.

Ключевые слова

трихлорид бора, хлор, газовая среда, приведенная напряженность электрического поля, температура газа, удельная мощность, интенсивность излучения, концентрации частиц

Список литературы

Roosmalen A.J., Baggerman J.A.G., Brader S.J.H. Dry etching for VLSI. N. Y.: Plenum Press. 1991. 457 p.
Rooth J.R. Industrial plasma engineering. Philadelphia: IOP Publishing LTD. 1995. V. 1. 545 p.
Ефремов А.М., Мурин Д.Б. Параметры плазмы и механизмы травления металлов и полупроводников в смесях HCl + Ar, H2, O2 и Cl2 // Микроэлектроника. 2015. Т. 44. № 5. С. 338–345.
Иванов Ю.А., Лебедев Ю.А., Полак Л.С. Методы контактной диагностики в неравновесной плазмохимии. М.: Наука, 1981. 142 с.
Рохлин Г.Н. Разрядные источники света. Изд. 2-е; перераб. и доп. М.: Энергатомиздат, 1991. С. 720.
Мурин Д.Б., Дунаев А.В. Электрофизические параметры и спектры излучения плазмы трихлорида бора // Микроэлектроника. 2018. Т. 47. № 2. С. 106–114.
Pearse R.W.B., Gaydon A.G. The identification of molecular spectra. Fourth edition. New York: John Wiley & Sons, inc. 1976. P. 407.
Стриганов А.Р., Свентицкий Н.С. Таблицы спектральных линий нейтральных и ионизированных атомов. М.: Атомиздат., 1966. С. 899.
Дунаев А.В., Мурин Д.Б. Электрофизические параметры и концентрации активных частиц в плазме смесей HCl c инертными и молекулярными газами // Микроэлектроника. 2014. Т. 43. № 5. С. 363.
Ефремов А.М., Мурин Д.Б. Электрофизические параметры плазмы бинарных смесей HCl + Ar, He, H2, O2 и Cl2 // Известия высших учебных заведений. Серия: Химия и химическая технология. 2015. Т. 58. № 4. С. 14–18.
Ефремов А.М., Пивоваренок С.А., Светцов В.И. Параметры плазмы и механизмы травления металлов и полупроводников в хлороводороде // Микроэлектроника. 2009. Т. 38. № 3. С. 163–175.
Ситанов Д.В., Ефремов А.М., Светцов В.И. Параметры плазмы и кинетика образования и гибели а-тивных частиц в разряде в хлоре // ТВТ. 2008. Т. 46. № 1. С. 15–22.