Investigation of the Optical Properties of Ultrathin Films Based on Metal Silicide

E. A. Kerimov; Керимов Э. А.

doi:10.31857/S0544126923700229

Исследование оптических свойств сверхтонких пленок на основе силицида металлов

Авторы: Керимов Э.А.¹
Учреждения:
1. Азербайджанский государственный технический университет
Выпуск: Том 52, № 2 (2023)
Страницы: 160-164
Раздел: ТЕХНОЛОГИИ
URL: https://bakhtiniada.ru/0544-1269/article/view/138497
DOI: https://doi.org/10.31857/S0544126923700229
EDN: https://elibrary.ru/PYLCTO
ID: 138497

Цитировать

Полный текст

Аннотация
Об авторах
Список литературы
Дополнительные файлы
Статистика

Аннотация

При исследовании оптических свойств тонких пленок для получения достоверных сведений о величине их оптических постоянных необходимо точно измерят толщины металла. Измерение толщины 600 < d < 1500 А⁰ проводились методом многолучевой интерферометрии и резонансно-частотным методом.

Ключевые слова

резонансно-частотный метод, оптические постоянные, метод многолучевой интерферометрии, кварцевой элемент

Об авторах

Э. А. Керимов

Азербайджанский государственный технический университет

Автор, ответственный за переписку.
Email: E_Kerimov.fizik@mail.ru
Азербайджан, AZ 1073, Баку, пр. Г. Джавида 35

Список литературы

Тришенков М.А. Фотоприемные устройства и ПЗС. М.: Радио и связь, 1992. 400 с.
Elliott C.T. Future infrared detector technologies // Fourth Int. Conf. on Advanced Infrared Detectors and Systems. 1990. P. 61–66.
Byrne C.F., Knowles P. Infrared formed in mercury cadmium telluride grown by MOCVD // Semicond. Sci. Technol. 1988. № 3. P. 377–381.
Иевлев В.М., Солдатенко С.А., Кущев С.Б. и др. Эффект фотонной активации синтеза пленок силицидов в гетеросистеме (111) Si–Ni–Pt // Конденсированные среды и межфазные границы. 2010. Т. 9. № 3. С. 216–227.