电邮这篇文章 OBRATNAYa ZADAChA TEORII OTRAZhENIYa DLYa PYaTISLOYNYKh SIMMETRIChNYKh STRUKTUR
- 作者: Fedyukhin L.A1, Kolosovskiy E.A1, Gorchakov A.V1
-
隶属关系:
- 期: 卷 168, 编号 2 (2025)
- 页面: 143–149
- 栏目: ATOMS, MOLECULES, OPTICS
- URL: https://bakhtiniada.ru/0044-4510/article/view/307105
- DOI: https://doi.org/10.31857/S0044451025080012
- ID: 307105
如何引用文章
开放存取
##reader.subscriptionAccessGranted##
订阅存取
详细
Получено точное аналитическое решение обратной задачи теории отражения для прозрачных структур с четырьмя границами раздела. Приведены соотношения, определяющие оптическую длину структуры, толщину подложки, угловое положение и абсолютные номера интерференционных минимумов.
参考
- В. К. Громов, Весёлчие в эллипсометрию, Изд-во ЛГУ (1986).
- С. Н. Свиташева, Метод эллипсометрии для исследования ианоразмерных пленок диэлектриков, полупроводников и металлов, Изд-во СО РАН Новосибирск (2019).
- А. И. Семененко, И. А. Семененко, Научное приборостроение 23, 47 (2013).
- С. Н. Свиташева, ДАН СССР 318 (5), 1154 (1991).
- Д. В. Сивухин, Общий курс физики. Оптика, Наука, Москва (1980).
- Л. А. Федюхин, А. В. Горчаков, Е. А. Колосовский, Опт. и спектр. 128, 257 (2020).
- Л. А. Федюхин, А. В. Горчаков, ЖЭТФ 158, 792 (2020).
- Shyam Singh, Phys. Scr. 65, 167 (2002).
- А. Л. Брикс, В сб. Исследования в области оптических и световых измерений, Труды метрологических институтов СССР 193, 14 (1976).
- Л. А. Федюхин, А. В. Горчаков, Н. Г. Коробейщиков, И. В. Николаев, Письма в ЖЭТФ 114, 304 (2021).
补充文件
