Email this article 
OBRATNAYa ZADAChA TEORII OTRAZhENIYa DLYa PYaTISLOYNYKh SIMMETRIChNYKh STRUKTUR
- Authors: Fedyukhin L.A1, Kolosovskiy E.A1, Gorchakov A.V1
-
Affiliations:
- Issue: Vol 168, No 2 (2025)
- Pages: 143–149
- Section: ATOMS, MOLECULES, OPTICS
- URL: https://bakhtiniada.ru/0044-4510/article/view/307105
- DOI: https://doi.org/10.31857/S0044451025080012
- ID: 307105
Cite item
Open Access
Access granted
Subscription Access
Abstract
Получено точное аналитическое решение обратной задачи теории отражения для прозрачных структур с четырьмя границами раздела. Приведены соотношения, определяющие оптическую длину структуры, толщину подложки, угловое положение и абсолютные номера интерференционных минимумов.
References
- В. К. Громов, Весёлчие в эллипсометрию, Изд-во ЛГУ (1986).
- С. Н. Свиташева, Метод эллипсометрии для исследования ианоразмерных пленок диэлектриков, полупроводников и металлов, Изд-во СО РАН Новосибирск (2019).
- А. И. Семененко, И. А. Семененко, Научное приборостроение 23, 47 (2013).
- С. Н. Свиташева, ДАН СССР 318 (5), 1154 (1991).
- Д. В. Сивухин, Общий курс физики. Оптика, Наука, Москва (1980).
- Л. А. Федюхин, А. В. Горчаков, Е. А. Колосовский, Опт. и спектр. 128, 257 (2020).
- Л. А. Федюхин, А. В. Горчаков, ЖЭТФ 158, 792 (2020).
- Shyam Singh, Phys. Scr. 65, 167 (2002).
- А. Л. Брикс, В сб. Исследования в области оптических и световых измерений, Труды метрологических институтов СССР 193, 14 (1976).
- Л. А. Федюхин, А. В. Горчаков, Н. Г. Коробейщиков, И. В. Николаев, Письма в ЖЭТФ 114, 304 (2021).
Supplementary files
