Мақаланы E-mail арқылы жіберу Production of ferroelectric hafnium oxide films by magnetron sputtering
- Авторлар: Luzanov V.A.1
-
Мекемелер:
- Fryazino Branch Kotelnikov Institute of Radioengineering and Electronics of RAS
- Шығарылым: Том 69, № 10 (2024)
- Беттер: 1000-1003
- Бөлім: НАНОЭЛЕКТРОНИКА
- URL: https://bakhtiniada.ru/0033-8494/article/view/282459
- DOI: https://doi.org/10.31857/S0033849424100106
- EDN: https://elibrary.ru/HPSBDR
- ID: 282459
Дәйексөз келтіру
Толық мәтін
Аннотация
Hafnium oxide films containing a non-centrosymmetric orthorhombic phase capable of spontaneous polarization were obtained by magnetron sputtering. It was shown that the presence of bombardment with negative oxygen ions promotes the formation of the orthorhombic phase.
Негізгі сөздер
Авторлар туралы
V. Luzanov
Fryazino Branch Kotelnikov Institute of Radioengineering and Electronics of RAS
Хат алмасуға жауапты Автор.
Email: valery@luzanov.ru
Ресей, Vvedenskii Squar. 1, Fryazino, Moscow Region, 141190
Әдебиет тізімі
- Schenk T., Pešić1 M., Slesazeck S. et.al. // Reports on Progress in Physics. 2020. V. 83. № 8. P. 086501.
- Kim Min-Kyu, Kim Ik-Jyae, Lee Jang-Sik // Sci. Adv. 2021. V. 7. № 3. P. 1.
- Mikolajick T., Schroeder U., Slesazeck S. // IEEE Trans. 2020. V. ED-67. № 4. P. 1434.
- Park J. Y., Yang K., Lee D. H. et al. // J. Appl. Phys. 2020. V. 128. № 24. P. 240904.
- Mikolajick T., Slesazeck S., Park M. H., Schroeder U. // MRS Bull. 2018. V. 43. № 5. P. 340.
- Перевалов Т. В., Гриценко В. А., Гутаковский А. К., Просвирин И. П. // Письма в ЖЭТФ. 2019. Т. 109. № 2. С. 112.
- Горшков Д.В., Закиров, Е.Р., Сидоров Г.Ю. и др. // Изв. вузов. Физика. 2023. Т. 66. № 6. С. 111.
- Соколов А.А., Овчинников А.А., Лысенков К.М. и др. // ЖТФ. 2010. Т. 80. № 7. С. 131.
- Лузанов В.А. Магнетронное распылительное устройство. Патент РФ на изобретение № 2761900. Опубл. офиц. бюл. «Изобретения. Полезные модели». № 35 от 13.12. 2021.
- Лузанов В.А., Алексеев С.Г., Ползикова Н.И. // РЭ. 2018. Т. 63. № 9. С. 1015.
Қосымша файлдар
