Получение пленок оксида кремния методом импульсного магнетронного осаждения с горячей мишенью в реакционной среде

Мұқаба

Дәйексөз келтіру

Толық мәтін

Ашық рұқсат Ашық рұқсат
Рұқсат жабық Рұқсат берілді
Рұқсат жабық Тек жазылушылар үшін

Аннотация

Исследованы режимы существования импульсного магнетронного разряда с горячей теплоизолированной кремниевой мишенью при работе в газовой смеси, содержащей кислород (Ar + O2). Рассмотрен диапазон средней плотности мощности на мишени 60…120 Вт/см2 при длительности импульсов 100…300 мкс и частоте повторения 0.5…2 кГц. Построены карты стабильных режимов работы распылительной системы. Получены и продиагностированы покрытия SixOy на подложках из монокристаллического кремния при различных значениях доли кислорода в газовом потоке и различных параметрах импульсного питания магнетрона.

Авторлар туралы

Национальный исследовательский ядерный университет “МИФИ”

Email: kaziev@plasma.mephi.ru
Российская Федерация, 115409, Москва, Каширское шоссе, 31

Национальный исследовательский ядерный университет “МИФИ”

Email: kaziev@plasma.mephi.ru
Российская Федерация, 115409, Москва, Каширское шоссе, 31

Национальный исследовательский ядерный университет “МИФИ”; Фрязинский филиал Института радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН; Физический институт им. П.Н. Лебедева РАН

Email: kaziev@plasma.mephi.ru
Российская Федерация, 115409, Москва, Каширское шоссе, 31; Российская Федерация, 141190, Московской обл., Фрязино, пл. Введенского, 1; Российская Федерация, 119991, Москва, Ленинский просп., 53

Национальный исследовательский ядерный университет “МИФИ”

Email: kaziev@plasma.mephi.ru
Российская Федерация, 115409, Москва, Каширское шоссе, 31

Национальный исследовательский ядерный университет “МИФИ”

Хат алмасуға жауапты Автор.
Email: kaziev@plasma.mephi.ru
Российская Федерация, 115409, Москва, Каширское шоссе, 31

Әдебиет тізімі

  1. Strijckmans K., Schelfhout R., Depla D. // J. Appl. Phys. 2018. V. 124. № 24. P. 241101.
  2. Shapovalov V.I. // Materials (Basel). 2023. V. 16. № 8. P. 3258.
  3. Graillot-Vuillecot R., Thomann A.-L., Lecas T. et al. // Vacuum. 2022. V. 197. P. 110813.
  4. Chodun R., Dypa M., Wicher B. et al. // Appl. Surf. Sci. 2022. V. 574. P. 151597.
  5. Reed M.L., Fedder G.K. Handbook of Sensors and Actuators. N.Y.: Springer, 1998.
  6. Pierce A.L., Sommakia S., Rickus J.L., Otto K.J. // J. Neurosci. Methods. 2009. V. 180. № 1. P. 106.
  7. Cui L., Ranade A.N., Matos M.A. et al. // ACS Appl. Mater. Interfaces. 2012. V. 4. № 12. P. 6587.
  8. Prevo B.G., Hwang Y., Velev O.D. // Chem. Mater. 2005. V. 17. № 14. P. 3642.
  9. Long L., Yang Y., Wang L. // Sol. Energy Mater. Sol. Cells. 2019. V. 197. P. 19.
  10. Steenbeck K. // Thin Solid Films. 1985. V. 123. № 3. P. 239.
  11. Chau R.Y., Ho W-S, Wolfe J.C., Licon D.L. et al. // Thin Solid Films. 1996. V. 287. № 1–2. P. 57.
  12. Tumarkin A.V., Kaziev A.V., Kharkov M.M. et al. // Surf. Coatings Technol. 2016. V. 293. P. 42.
  13. Kaziev A.V., Kolodko D.V., Tumarkin A.V. et al. // Surf. Coatings Technol. 2021. V. 409. P. 126889.
  14. Kaziev A.V., Kolodko D.V., Sergeev N.S. // Plasma Sources Sci. Technol. 2021. V. 30. № 5. P. 055002.

Қосымша файлдар

Қосымша файлдар
Әрекет
1. JATS XML
Жүктеу
2.

Жүктеу (68KB)
Метадеректер
3.

Жүктеу (568KB)
Метадеректер
4.

Жүктеу (1MB)
Метадеректер

© В.Ю. Лисенков, М.М. Харьков, Д.В. Колодко, А.В. Тумаркин, А.В. Казиев, 2023

Согласие на обработку персональных данных с помощью сервиса «Яндекс.Метрика»

1. Я (далее – «Пользователь» или «Субъект персональных данных»), осуществляя использование сайта https://journals.rcsi.science/ (далее – «Сайт»), подтверждая свою полную дееспособность даю согласие на обработку персональных данных с использованием средств автоматизации Оператору - федеральному государственному бюджетному учреждению «Российский центр научной информации» (РЦНИ), далее – «Оператор», расположенному по адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А, со следующими условиями.

2. Категории обрабатываемых данных: файлы «cookies» (куки-файлы). Файлы «cookie» – это небольшой текстовый файл, который веб-сервер может хранить в браузере Пользователя. Данные файлы веб-сервер загружает на устройство Пользователя при посещении им Сайта. При каждом следующем посещении Пользователем Сайта «cookie» файлы отправляются на Сайт Оператора. Данные файлы позволяют Сайту распознавать устройство Пользователя. Содержимое такого файла может как относиться, так и не относиться к персональным данным, в зависимости от того, содержит ли такой файл персональные данные или содержит обезличенные технические данные.

3. Цель обработки персональных данных: анализ пользовательской активности с помощью сервиса «Яндекс.Метрика».

4. Категории субъектов персональных данных: все Пользователи Сайта, которые дали согласие на обработку файлов «cookie».

5. Способы обработки: сбор, запись, систематизация, накопление, хранение, уточнение (обновление, изменение), извлечение, использование, передача (доступ, предоставление), блокирование, удаление, уничтожение персональных данных.

6. Срок обработки и хранения: до получения от Субъекта персональных данных требования о прекращении обработки/отзыва согласия.

7. Способ отзыва: заявление об отзыве в письменном виде путём его направления на адрес электронной почты Оператора: info@rcsi.science или путем письменного обращения по юридическому адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А

8. Субъект персональных данных вправе запретить своему оборудованию прием этих данных или ограничить прием этих данных. При отказе от получения таких данных или при ограничении приема данных некоторые функции Сайта могут работать некорректно. Субъект персональных данных обязуется сам настроить свое оборудование таким способом, чтобы оно обеспечивало адекватный его желаниям режим работы и уровень защиты данных файлов «cookie», Оператор не предоставляет технологических и правовых консультаций на темы подобного характера.

9. Порядок уничтожения персональных данных при достижении цели их обработки или при наступлении иных законных оснований определяется Оператором в соответствии с законодательством Российской Федерации.

10. Я согласен/согласна квалифицировать в качестве своей простой электронной подписи под настоящим Согласием и под Политикой обработки персональных данных выполнение мною следующего действия на сайте: https://journals.rcsi.science/ нажатие мною на интерфейсе с текстом: «Сайт использует сервис «Яндекс.Метрика» (который использует файлы «cookie») на элемент с текстом «Принять и продолжить».