Быстрый численный расчет рентгеновской дифракции от кристаллических микросистем

Обложка

Цитировать

Полный текст

Открытый доступ Открытый доступ
Доступ закрыт Доступ предоставлен
Доступ закрыт Только для подписчиков

Аннотация

Разработан метод быстрого численного расчета рентгеновской дифракции в кинематическом приближении от тонких кристаллических микросистем. Скорость вычислений карт интенсивности рассеяния вблизи узла обратной решетки с использованием этого подхода на 3–4 порядка выше, чем скорость расчетов на основе уравнений Такаги–Топена или двумерных рекуррентных соотношений. В рамках полученных решений выполнено численное моделирование картографирования рентгеновской дифракции в обратном пространстве для трех моделей кристаллических чипов микросистем.

Полный текст

Доступ закрыт

Об авторах

В. И. Пунегов

ФИЦ “Коми научный центр УрО РАН”

Email: vpunegov@dm.komisc.ru

Физико-математический институт

Россия, Сыктывкар

Д. М. Мальков

ФИЦ “Коми научный центр УрО РАН”

Автор, ответственный за переписку.
Email: vpunegov@dm.komisc.ru

Физико-математический институт

Россия, Сыктывкар

Список литературы

  1. Neels A., Bourban G., Shea H. et al. // Proc. Chem. 2009. V. 1. P. 820. https://doi.org/10.1016/j.proche.2009.07.204
  2. Neels A., Dommann A. // Techn. Proc. NSTI-Nanotechnology, 2010. (Conference and Expo, Anaheim, USA, 21–24 June 2010.) V. 2. P. 182.
  3. Schifferle V., Dommann A., Neels A. // Sci. Technol. Adv. Mater. 2017. V. 18. P. 219. https://doi.org/10.1080/14686996.2017.1282800
  4. Punegov V.I., Pavlov K.M., Karpov A.V., Faleev N.N. // J. Appl. Cryst. 2017. V. 50. P. 1256. https://doi.org/10.1107/S1600576717010123
  5. Punegov V.I., Kolosov S.I. // J. Appl. Cryst. 2022. V. 55. P. 320. https://doi.org/10.1107/S1600576722001686
  6. Punegov V.I., Kolosov S.I., Pavlov K.M. // Acta Cryst. A. 2014. V. 70. P. 64. https://doi.org/10.1107/S2053273313030416
  7. Punegov V.I., Kolosov S.I., Pavlov K.M. // J. Appl. Cryst. 2016. V. 49. P. 1190. https://doi.org/10.1107/S1600576716008396
  8. Takagi S. // Acta Cryst. 1962. V. 15 P. 1311. https://doi.org/10.1107/S0365110X62003473
  9. Taupin D. // Bull. Soc. Fr. Miner. Crist. 1964. V. 87. P. 469.
  10. Stepanov S., Forrest R. // J. Appl. Cryst. 2008. V. 41. P. 958. https://doi.org/10.1107/S0021889808022231

Дополнительные файлы

Доп. файлы
Действие
1. JATS XML
2. Рис. 1. Схематическое изображение рентгеновской дифракции от чипа МЭМС, состоящего из верхней изогнутой части толщиной Lz1 и нижней совершенной или градиентной области кристалла толщиной Lz2. Ширина падающего и отраженного рентгеновского пучка w, засветка поверхности структуры имеет размер Lx. PSD – позиционно чувствительный детектор.

Скачать (84KB)
3. Рис. 2. Расчетная карта RSM от первой модели чипа МЭМС – изогнутого кристалла Si толщиной 4 мкм. Латеральная ширина кристалла Lx = 135 мкм.

Скачать (180KB)
4. Рис. 3. Расчетная карта RSM от второй модели чипа МЭМС с изогнутой верхней частью толщиной 2 мкм. Нижним слоем является недеформированный кристалл толщиной Lz2 = 2 мкм.

Скачать (109KB)
5. Рис. 4. Расчетная карта RSM от третьей модели чипа МЭМС с изогнутой верхней частью. Нижний слой имеет одномерный градиент деформации по глубине кристалла.

Скачать (122KB)
6. Рис. 5. Латеральные qx-сечения (а) и вертикальные qz-сечения (б) карт RSM от первой (1), второй (2) и третьей (3) моделей чипов МЭМС.

Скачать (137KB)

© Российская академия наук, 2024

Согласие на обработку персональных данных с помощью сервиса «Яндекс.Метрика»

1. Я (далее – «Пользователь» или «Субъект персональных данных»), осуществляя использование сайта https://journals.rcsi.science/ (далее – «Сайт»), подтверждая свою полную дееспособность даю согласие на обработку персональных данных с использованием средств автоматизации Оператору - федеральному государственному бюджетному учреждению «Российский центр научной информации» (РЦНИ), далее – «Оператор», расположенному по адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А, со следующими условиями.

2. Категории обрабатываемых данных: файлы «cookies» (куки-файлы). Файлы «cookie» – это небольшой текстовый файл, который веб-сервер может хранить в браузере Пользователя. Данные файлы веб-сервер загружает на устройство Пользователя при посещении им Сайта. При каждом следующем посещении Пользователем Сайта «cookie» файлы отправляются на Сайт Оператора. Данные файлы позволяют Сайту распознавать устройство Пользователя. Содержимое такого файла может как относиться, так и не относиться к персональным данным, в зависимости от того, содержит ли такой файл персональные данные или содержит обезличенные технические данные.

3. Цель обработки персональных данных: анализ пользовательской активности с помощью сервиса «Яндекс.Метрика».

4. Категории субъектов персональных данных: все Пользователи Сайта, которые дали согласие на обработку файлов «cookie».

5. Способы обработки: сбор, запись, систематизация, накопление, хранение, уточнение (обновление, изменение), извлечение, использование, передача (доступ, предоставление), блокирование, удаление, уничтожение персональных данных.

6. Срок обработки и хранения: до получения от Субъекта персональных данных требования о прекращении обработки/отзыва согласия.

7. Способ отзыва: заявление об отзыве в письменном виде путём его направления на адрес электронной почты Оператора: info@rcsi.science или путем письменного обращения по юридическому адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А

8. Субъект персональных данных вправе запретить своему оборудованию прием этих данных или ограничить прием этих данных. При отказе от получения таких данных или при ограничении приема данных некоторые функции Сайта могут работать некорректно. Субъект персональных данных обязуется сам настроить свое оборудование таким способом, чтобы оно обеспечивало адекватный его желаниям режим работы и уровень защиты данных файлов «cookie», Оператор не предоставляет технологических и правовых консультаций на темы подобного характера.

9. Порядок уничтожения персональных данных при достижении цели их обработки или при наступлении иных законных оснований определяется Оператором в соответствии с законодательством Российской Федерации.

10. Я согласен/согласна квалифицировать в качестве своей простой электронной подписи под настоящим Согласием и под Политикой обработки персональных данных выполнение мною следующего действия на сайте: https://journals.rcsi.science/ нажатие мною на интерфейсе с текстом: «Сайт использует сервис «Яндекс.Метрика» (который использует файлы «cookie») на элемент с текстом «Принять и продолжить».