X-RAY DIAGNOSTICS OF MULTILAYER Ti/Ni MIRRORS WITH VARIOUS CONFIGURATIONS OF Si BUFFER INSERTS USING X-RAY REFLECTOMETRY AND STANDING X-RAY WAVES METHODS

Cover Page

Cite item

Full Text

Open Access Open Access
Restricted Access Access granted
Restricted Access Subscription Access

Abstract

This article investigates the periodic structure of Ni/Ti X-ray mirrors with different configurations of Si buffer layers using X-ray reflectometry and standing X-ray wave techniques. Depth profiles of electron density and the distributions of Ni and Ti elements within the films were obtained. Films with period structures of Ti/Ni, Ti/Si/Ni, Ti/Ni/Si, and Ti/Si/Ni/Si were examined. The results show that the structure featuring a Si buffer layer inserted both between layers within a period and between the periods themselves (Ti/Si/Ni/Si) is optimal as a mirror configuration in terms of reflectometry intensity.

About the authors

A. Yu Seregin

National Research Centre "Kurchatov Institute"

Moscow, Russia

Yu. A Volkovsky

National Research Centre "Kurchatov Institute"

Email: irlandez08@yandex.ru
Moscow, Russia

P. A Prosekov

National Research Centre "Kurchatov Institute"

Moscow, Russia

Y. D Kardeev

National Research Centre "Kurchatov Institute"

Moscow, Russia

V. N Polkovnikov

Institute of Physics of Microstructures, Russian Academy of Sciences

Nizhny Novgorod, Russia

R. M Smertin

Institute of Physics of Microstructures, Russian Academy of Sciences

Nizhny Novgorod, Russia

Yu. V Pisarevsky

National Research Centre "Kurchatov Institute"

Moscow, Russia

A. E Blagov

National Research Centre "Kurchatov Institute"

Moscow, Russia

References

  1. Schanzer C., Schneider M., Böni P. // J. Phys. Conf. Ser. 2016. V. 746. P. 012024. https://doi.org/10.1088/1742-6596/746/1/012024
  2. Senthil Kumar M., Böni P., Horisberger M. // Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A. 2004. V. 529. № 1–3. P. 90. https://doi.org/10.1016/j.nima.2004.04.184
  3. Ay M., Schanzer C., Wolff M., Stahn J. // Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A. 2006. V. 562. № 1. P. 389. https://doi.org/10.1016/j.nima.2006.02.188
  4. Smertin R., Antyushin E., Malyshev I. et al. // J. Appl. Cryst. 2024. V. 57. № 5. P. 1477. https://doi.org/10.1107/S1600576724007702
  5. Ковальчук М.В., Благов А.Е., Нарайкин О.С. и др. // Кристаллография. 2022. Т. 67. № 5. С. 726. https://doi.org/10.31857/S0023476122050071
  6. Гавриш Ю.Н., Филатов О.Г., Зуев Ю.В. и др. // Письма в журнал Физика элементарных частиц и атомного ядра. 2024. Т. 21. № 3 (254). С. 257.
  7. https://ckp-rf.ru/catalog/megascience/tsentr-kollektivnogo-polzovaniya-sibirskiy-koltsevoy-istochnik-fotonov-tskp-skif-/
  8. https://ckp-rf.ru/catalog/megascience/mezhdunarodnyy-tsentr-neytronnykh-issledovaniy-na-baze-vysokopotochnogo-issledovatelskogo-reaktora-p/
  9. Fewster P.F. // Rep. Prog. Phys. 1996. V. 59. P. 1339. https://doi.org/10.1088/0034-4885/59/11/001
  10. Благов А.Е., Галиев Г.Б., Имамов Р.М. и др. // Кристаллография. 2017. Т. 62. № 3. С. 355. https://doi.org/10.7868/S002347611703002X
  11. Волковский Ю.А., Серегин А.Ю., Фоломешкин М.С. и др. // Поверхность. Рентген., синхротр. и нейтрон. исслед. 2021. № 9. С. 40. https://doi.org/10.31857/S102809602109020X
  12. Zheludeva S.I., Kovalchuk M.V., Novikova N.N. et al. // J. Phys. D. 1993. V. 26. P. A206. https://doi.org/10.1088/0022-3727/26/4A/043
  13. Серегин А.Ю., Дьякова Ю.А., Якунин С.Н. и др. // Кристаллография. 2013. Т. 58. № 6. С. 937. https://doi.org/10.7868/s0023476113060210
  14. Фоломешкин М.С., Благов А.Е., Бойкова А.С. и др. // Кристаллография. 2023. Т. 68. № 1. С. 86. https://doi.org/10.31857/S0023476123010083
  15. Ковальчук М.В., Кон В.Г. // Успехи физ. наук. 1986. Т. 149. Вып. 1. С. 69. https://doi.org/10.3367/UFNr.0149.198605c.0069
  16. Zheludeva S.I., Lagomarsino S., Novikova N.N. et al. // Thin Solid Films. 1991. V. 193. P. 395. https://doi.org/10.1016/S0040-6090(05)80049-5
  17. Бушуев В.А., Рощупкина О.Д. // Изв. РАН. Сер. физ. 2007. Т. 71. № 1. С. 64.
  18. Parratt L.G. // Phys. Rev. 1954. V. 95. № 2. P. 359. https://doi.org/10.1103/PhysRev.95.359
  19. Кон В.Г., Просеков П.А., Серегин А.Ю. и др. // Кристаллография. 2019. Т. 64. № 1. С. 29. https://doi.org/10.1134/S0023476119010144

Supplementary files

Supplementary Files
Action
1. JATS XML
Download

Copyright (c) 2025 Russian Academy of Sciences

Согласие на обработку персональных данных с помощью сервиса «Яндекс.Метрика»

1. Я (далее – «Пользователь» или «Субъект персональных данных»), осуществляя использование сайта https://journals.rcsi.science/ (далее – «Сайт»), подтверждая свою полную дееспособность даю согласие на обработку персональных данных с использованием средств автоматизации Оператору - федеральному государственному бюджетному учреждению «Российский центр научной информации» (РЦНИ), далее – «Оператор», расположенному по адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А, со следующими условиями.

2. Категории обрабатываемых данных: файлы «cookies» (куки-файлы). Файлы «cookie» – это небольшой текстовый файл, который веб-сервер может хранить в браузере Пользователя. Данные файлы веб-сервер загружает на устройство Пользователя при посещении им Сайта. При каждом следующем посещении Пользователем Сайта «cookie» файлы отправляются на Сайт Оператора. Данные файлы позволяют Сайту распознавать устройство Пользователя. Содержимое такого файла может как относиться, так и не относиться к персональным данным, в зависимости от того, содержит ли такой файл персональные данные или содержит обезличенные технические данные.

3. Цель обработки персональных данных: анализ пользовательской активности с помощью сервиса «Яндекс.Метрика».

4. Категории субъектов персональных данных: все Пользователи Сайта, которые дали согласие на обработку файлов «cookie».

5. Способы обработки: сбор, запись, систематизация, накопление, хранение, уточнение (обновление, изменение), извлечение, использование, передача (доступ, предоставление), блокирование, удаление, уничтожение персональных данных.

6. Срок обработки и хранения: до получения от Субъекта персональных данных требования о прекращении обработки/отзыва согласия.

7. Способ отзыва: заявление об отзыве в письменном виде путём его направления на адрес электронной почты Оператора: info@rcsi.science или путем письменного обращения по юридическому адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А

8. Субъект персональных данных вправе запретить своему оборудованию прием этих данных или ограничить прием этих данных. При отказе от получения таких данных или при ограничении приема данных некоторые функции Сайта могут работать некорректно. Субъект персональных данных обязуется сам настроить свое оборудование таким способом, чтобы оно обеспечивало адекватный его желаниям режим работы и уровень защиты данных файлов «cookie», Оператор не предоставляет технологических и правовых консультаций на темы подобного характера.

9. Порядок уничтожения персональных данных при достижении цели их обработки или при наступлении иных законных оснований определяется Оператором в соответствии с законодательством Российской Федерации.

10. Я согласен/согласна квалифицировать в качестве своей простой электронной подписи под настоящим Согласием и под Политикой обработки персональных данных выполнение мною следующего действия на сайте: https://journals.rcsi.science/ нажатие мною на интерфейсе с текстом: «Сайт использует сервис «Яндекс.Метрика» (который использует файлы «cookie») на элемент с текстом «Принять и продолжить».