Influence of the parameters of plasma-induced decomposition of tetramethylsilane on the chemical and phase compositions and particle size of resulting silicon carbide

Авторлар: Berestenko V.I.¹, Kurkin E.N.², Torbov V.I.¹, Domashnev I.A.²
Мекемелер:
1. Institute of Problems of Chemical Physics
2. Scientific Center
Шығарылым: Том 50, № 3 (2016)
Беттер: 221-223
Бөлім: Short Communications Plasma Chemistry
URL: https://bakhtiniada.ru/0018-1439/article/view/156974
DOI: https://doi.org/10.1134/S0018143916030036
ID: 156974

Дәйексөз келтіру

Толық мәтін

Ашық рұқсат
Рұқсат жабық

Рұқсат берілді
Рұқсат жабық

Тек жазылушылар үшін

Silicon Carbide, High Energy Chemistry, Excess Carbon, Hydrogen Flow Rate, Ethylsilane

Institute of Problems of Chemical Physics

Хат алмасуға жауапты Автор.
Email: vib@icp.ac.ru
Ресей, Chernogolovka, Moscow oblast

Scientific Center

Email: vib@icp.ac.ru
Ресей, Chernogolovka, Moscow oblast

Institute of Problems of Chemical Physics

Email: vib@icp.ac.ru
Ресей, Chernogolovka, Moscow oblast

Scientific Center

Email: vib@icp.ac.ru
Ресей, Chernogolovka, Moscow oblast

Әрекет

1. JATS XML