Программа для расчета проективного пробега и страгглинга ионов в твердом теле с использованием аппроксимации В.В. Юдина

Обложка
  • Авторы: Утамурадова Ш.Б.1, Муминов Р.А.2, Дыскин В.Г.3, Тукфатуллин О.Ф.1
  • Учреждения:
    1. Научно-исследовательский институт физики полупроводников и микроэлектроники при Национальном университете Узбекистана имени Мирзо Улугбека
    2. Физико-технический институт Научно-производственного объединения «Физика-Солнце» Академии наук Республики Узбекистан
    3. Институт материаловедения Научно-производственного объединения «Физика-Солнце» Академии наук Республики Узбекистан
  • Выпуск: Том 9, № 4 (2022)
  • Страницы: 11-16
  • Раздел: Статьи
  • URL: https://bakhtiniada.ru/2313-223X/article/view/147157
  • DOI: https://doi.org/10.33693/2313-223X-2022-9-4-11-16
  • ID: 147157

Цитировать

Полный текст

Открытый доступ Открытый доступ
Доступ закрыт Доступ предоставлен
Доступ закрыт Только для подписчиков

Аннотация

Ионная имплантация является основой многих технологических процессов электроники и микроэлектроники. Основными величинами, характеризующими внедрение ионов в твердое тело, являются: длина пробега иона до полной его остановки, среднее значение проекции полного пробега на направление движения R̅p и среднее нормальное отклонение проекции пробега ΔR̅p. Для расчета этих величин созданы компьютерные программы SRIM, TRIM, DYNE, которые требуют инсталляции на персональный компьютер и занимают большой объем жесткого диска, что не всегда оправдано в инженерной практике. В данной работе описан алгоритм простой, не требующей инсталляции, программы для вычисления R̅p и ΔR̅p. Основой алгоритма программы является теория Линхарда-Шарфа-Шиота.

Об авторах

Шарифа Бекмурадовна Утамурадова

Научно-исследовательский институт физики полупроводников и микроэлектроники при Национальном университете Узбекистана имени Мирзо Улугбека

Email: director@ispm.uz
доктор физикоматематических наук, профессор; директор Ташкент, Республика Узбекистан

Рамизулла Абдуллаевич Муминов

Физико-технический институт Научно-производственного объединения «Физика-Солнце» Академии наук Республики Узбекистан

Email: detector@uzsci.net
доктор физикоматематических наук, академик Академии наук Республики Узбекистан; заведующий лабораторией Ташкент, Республика Узбекистан

Валерий Григорьевич Дыскин

Институт материаловедения Научно-производственного объединения «Физика-Солнце» Академии наук Республики Узбекистан

Email: dyskin@uzsci.net
доктор философских наук; старший научный сотрудник Ташкент, Республика Узбекистан

Оскар Фаритович Тукфатуллин

Научно-исследовательский институт физики полупроводников и микроэлектроники при Национальном университете Узбекистана имени Мирзо Улугбека

Email: oskar.tukfatullin@gmail.com
доктор философских наук; заведующий лабораторией Ташкент, Республика Узбекистан

Список литературы

  1. Townsend P.D., Chandler P.J., Zhang L. Optical effects of ion implantation. Cambridge University Press, 1994. 293 p.
  2. Мейер Дж., Эриксон Л., Дэвис Дж. Ионное легирование полупроводников. М.: Мир, 1973. 296 с.
  3. Риссел Х., Руге И. Ионная имплантация. М.: Наука, 1983. 380 с.
  4. Ивановский Г.Ф., Петров В.И. Ионно-плазменная обработка материалов. М.: Радио и связь. 1986. 231 с.
  5. Козлов В.А., Козловский В.В. Легирование полупроводников радиационными дефектами при облучении протонами и α-частицами // Физика и техника полупроводников. 2001. Т. 35. Вып. 7. С. 769-795.
  6. Степанов А.Л. Оптические свойства металлических наночастиц, синтезированных в полимере методом ионной имплантации (Обзор) // Журнал технической физики. 2004. Т. 74. Вып. 2. С. 1-12.
  7. Степанов А.Л., Трифонов А.А., Осин Ю.Н. и др. Новая технология формирования пористого кремния имплантацией ионами металла // Современные наукоемкие технологии. 2013. № 11. С. 119-123.
  8. Interactions of ions with matter. SRIM (The Stopping and Range of Ions in Matter) [Software]: Download SRIM-2013/Resource author and software developer J.F. Ziegler. [Electronic resource]. URL: http://www.srim.org/SRIM/SRIMLEGL.htm (data of accesses: 30.03.2022).
  9. Гиббонс Дж. Ионное внедрение в полупроводниках. Ч. I. Теория и экспериментальные исследования распределения пробегов // ТИИЭР. 1968. Т. 56. № 3. С. 60-85.
  10. Lindhard J., Scharff M., Schiott H.E. Range concepts and heavy ion ranges // Matematisk-fysiske Meddelelser udgivet af Det Kongelige Danske Videnskabernes Selskab. 1963. Vol. 33. No. 14. Pp. 1-43. (In English)
  11. Юдин В.В. Аналитический расчет пробегов с использованием аппроксимированной энергетической зависимости ядерного торможения // Доклады Академии наук СССР. 1972. Т. 207. № 2. С. 325-326.
  12. Examples for calculus & analysis. Knowledge base and set of computational algorithms [Electronic resource]. URL: http://www.wolframalpha.com/examples/mathematics/calculus-and-analysis (data of accesses: 30.03.2022).
  13. Форсайт Д., Мальком М., Моулер К. Машинные методы математических вычислений / пер. с англ. М.: Мир, 1980. 279 с.
  14. Шейкин Е.Г. Пробеги тяжелых ионов низких энергий в бериллии, боре, углероде и кремнии // Журнал технической физики. 1998. Т. 68. Вып. 9. С. 33-36.
  15. Kuzmin V. Range parameters of slow gold ions implanted into light targets // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B. 2009. Vol. 267. No. 16. Pp. 2657-2661.

Дополнительные файлы

Доп. файлы
Действие
1. JATS XML
Скачать


Согласие на обработку персональных данных с помощью сервиса «Яндекс.Метрика»

1. Я (далее – «Пользователь» или «Субъект персональных данных»), осуществляя использование сайта https://journals.rcsi.science/ (далее – «Сайт»), подтверждая свою полную дееспособность даю согласие на обработку персональных данных с использованием средств автоматизации Оператору - федеральному государственному бюджетному учреждению «Российский центр научной информации» (РЦНИ), далее – «Оператор», расположенному по адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А, со следующими условиями.

2. Категории обрабатываемых данных: файлы «cookies» (куки-файлы). Файлы «cookie» – это небольшой текстовый файл, который веб-сервер может хранить в браузере Пользователя. Данные файлы веб-сервер загружает на устройство Пользователя при посещении им Сайта. При каждом следующем посещении Пользователем Сайта «cookie» файлы отправляются на Сайт Оператора. Данные файлы позволяют Сайту распознавать устройство Пользователя. Содержимое такого файла может как относиться, так и не относиться к персональным данным, в зависимости от того, содержит ли такой файл персональные данные или содержит обезличенные технические данные.

3. Цель обработки персональных данных: анализ пользовательской активности с помощью сервиса «Яндекс.Метрика».

4. Категории субъектов персональных данных: все Пользователи Сайта, которые дали согласие на обработку файлов «cookie».

5. Способы обработки: сбор, запись, систематизация, накопление, хранение, уточнение (обновление, изменение), извлечение, использование, передача (доступ, предоставление), блокирование, удаление, уничтожение персональных данных.

6. Срок обработки и хранения: до получения от Субъекта персональных данных требования о прекращении обработки/отзыва согласия.

7. Способ отзыва: заявление об отзыве в письменном виде путём его направления на адрес электронной почты Оператора: info@rcsi.science или путем письменного обращения по юридическому адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А

8. Субъект персональных данных вправе запретить своему оборудованию прием этих данных или ограничить прием этих данных. При отказе от получения таких данных или при ограничении приема данных некоторые функции Сайта могут работать некорректно. Субъект персональных данных обязуется сам настроить свое оборудование таким способом, чтобы оно обеспечивало адекватный его желаниям режим работы и уровень защиты данных файлов «cookie», Оператор не предоставляет технологических и правовых консультаций на темы подобного характера.

9. Порядок уничтожения персональных данных при достижении цели их обработки или при наступлении иных законных оснований определяется Оператором в соответствии с законодательством Российской Федерации.

10. Я согласен/согласна квалифицировать в качестве своей простой электронной подписи под настоящим Согласием и под Политикой обработки персональных данных выполнение мною следующего действия на сайте: https://journals.rcsi.science/ нажатие мною на интерфейсе с текстом: «Сайт использует сервис «Яндекс.Метрика» (который использует файлы «cookie») на элемент с текстом «Принять и продолжить».