Влияние глубоких поверхностных акцепторных состояний на температурную зависимость проводимости слоёв оксида цинка

Проведено экспериментальное и теоретическое исследование температурной зависимости проводимости слоёв ZnO в сухом воздухе и парах этанола. Экспериментально установлено, что температурная зависимость проводимости носит нелинейный характер и ее вид определяется условиями эксперимента. Показано, что скорость развёртки напрямую влияет на вид температурной зависимости: при скорости развёртки 0,4°C/мин на температурной зависимости наблюдается локальный минимум проводимости в области температур 250±5°C, а при скорости 30°C/мин температурная зависимость имеет монотонный вид. Предложен механизм, описывающий влияние скорости развёртки на вид температурной зависимости, который предполагает протекание термоактивационных процессов диссоциации адсорбированных молекул кислорода с образованием на адсорбционных центрах атомарной формы кислорода. Ключевой идеей предложенного механизма является предположение о том, что атомарная форма кислорода образует более глубокие акцепторные состояния на поверхности оксида цинка, чем молекулярная форма. При высокой скорости развёртки время релаксации заполнения поверхности адсорбированными формами кислорода существенно больше времени эксперимента поэтому на поверхности слоёв оксида цинка возникают «замороженные» состояния атомарной формы адсорбированного кислорода. На основе проведенных расчетов по предложенной модели предложена методика, которая позволяет уменьшить неравновесные состояния атомарной формы адсорбированного кислорода с помощью термообработки образцов в восстанавливающих средах.

оксид цинка, полупроводниковый датчик газа, газочувствительность при комнатной температуре, температурная зависимость проводимости, диссоциация кислорода, поверхностный акцептор, модель двойных барьеров Шоттки