| 标题 | Fig. 2. Reflectance-absorption spectra of AZ nLOF2020 photoresist films with a thickness of 6.0 μm (1) and AZ nLOF2070 with a thickness of 5.85 μm (2) |
| 投稿 | AZ nLOF series photoresist films on monocrystalline silicon |
| 类型 | author.submit.suppFile.figureResearchResults |
| 日期 | 2025-05-30 |
| 语言 | ru |
附件
| 文件名 | 278377-664939-1-SP.jpg |
| 源文件名 | pict_02.jpg |
| 文件大小 | 206KB |
| 上传日期 | 30.05.2025 22:04 |