Отправить статью по E-mail 
Моделирование влияния неравномерности толщины диэлектрической пленки вдоль поверхности катода на его эмиссионные свойства в тлеющем газовом разряде
- Авторы: Бондаренко Г.Г.1, Фишер М.Р.2, Кристя В.И.2
-
Учреждения:
- Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования “Национальный исследовательский университет “Высшая школа экономики”
- Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования “Московский государственный технический университет имени Н. Э. Баумана (национальный исследовательский университет)”, Калужский филиал
- Выпуск: Том 88, № 4 (2024)
- Страницы: 549-554
- Раздел: Взаимодействие ионов с поверхностью
- URL: https://bakhtiniada.ru/0367-6765/article/view/271425
- DOI: https://doi.org/10.31857/S0367676524040048
- EDN: https://elibrary.ru/QIRJLV
- ID: 271425
Цитировать
Полный текст
Аннотация
Предложена модель катодного слоя тлеющего газового разряда при наличии на катоде диэлектрической оксидной пленки, толщина которой имеет различные значения на разных участках его поверхности. Изучено влияние неравномерности толщины пленки на эффективный коэффициент электронной эмиссии катода и на характеристики разряда.
Об авторах
Г. Г. Бондаренко
Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования “Национальный исследовательский университет “Высшая школа экономики”
Email: kristya@bmstu.ru
Россия, Москва
М. Р. Фишер
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования “Московский государственный технический университет имени Н. Э. Баумана (национальный исследовательский университет)”, Калужский филиал
Email: kristya@bmstu.ru
Россия, Калуга
В. И. Кристя
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования “Московский государственный технический университет имени Н. Э. Баумана (национальный исследовательский университет)”, Калужский филиал
Автор, ответственный за переписку.
Email: kristya@bmstu.ru
Россия, Калуга
Список литературы
- Райзер Ю.П. Физика газового разряда. Долгопрудный: ИД “Интеллект”, 2009. 736 с.
- Кудрявцев А.А., Смирнов А.С., Цендин Л.Д. Физика тлеющего разряда. СПб.: Лань, 2010. 512 с.
- Schwieger J., Baumann B., Wolff M. et al. // J. Phys. Conf. Ser. 2015. V. 655. Art. No. 012045.
- Langer R., Garner R., Paul I. et al. // Eur. Phys. J. Appl. Phys. 2016. V. 76. No. 1. Art. No. 10802.
- Savoye E.D., Anderson D.E. // J. Appl. Phys. 1967. V 38. No. 8. P. 3245.
- Riedel M., Düsterhöft H., Nagel F. // Vacuum. 2001. V. 61. P. 169.
- Bondarenko G.G., Fisher M.R., Kristya V.I., Prassitski V.V. // Vacuum. 2004. V. 73. P. 155.
- Suzuki M., Sagawa M., Kusunoki T. et al. // IEEE Trans. ED. 2012. V. 59. No. 8. P. 2256.
- Bondarenko G.G., Fisher M.R., Kristya V.I. // Vacuum. 2016. V. 129. P. 188.
- Bondarenko G.G., Kristya V.I., Savichkin D.O. // Vacuum. 2018. V. 149. P. 114.
- Кристя В.И., Мьо Ти Ха // Поверхность. Рентген. синхротр. и нейтрон. исслед.2020. № 5. С. 63; Kristya V.I., Myo Thi Ha // J. Surf. Invest.: X-Ray, Synchrotron Neutron Tech. 2020. V. 14. No. 3. P. 490.
- Кристя В.И., Мьо Ти Ха, Фишер М.Р. // Изв. РАН. Сер. физ. 2020. Т. 84. № 6. С. 846; Kristya V.I., Myo Thi Ha, Fisher M.R. // Bull. Russ. Acad. Sci. Phys. 2020. V. 84. No. 6. P. 698.
- Бондаренко Г.Г., Кристя В.И., Мьо Ти Ха, Фишер М.Р. // Поверхность. Рентген. синхротр. и нейтрон. исслед.2022. № 8. С. 25; Bondarenko G.G., Kristya V.I., Myo Thi Ha, Fisher M.R. // J. Surf. Invest.: X-Ray, Synchrotron Neutron Tech. 2022. V. 16. No. 4. P. 581.
- Woodworth J.R., Aragon B.P., Hamilton T.W. // Appl. Phys. Lett. 1997. V. 70. No. 15. P. 1947.
- Kim D., Economou D.J. // J. Appl. Phys. 2003. V. 94. No. 5. P. 2852.
- Kim D., Economou D.J. // J. Appl. Phys. 2004. V. 95. No. 7. P. 3311.
- Бондаренко Г.Г., Кристя В.И., Йе Наинг Тун // Изв. вузов. Физ. 2015. Т. 58. № 9. С. 99; Bondarenko G.G., Kristya V.I., Tun J.N. // Russ. Phys. J. 2016. V. 58. No. 9. P. 1313.
- Phelps A.V., Petrović Z. Lj. // Plasma Sources Sci. Technol. 1999. V. 8. No. 3. P. R21.
- Forbes R.G., Edgcombe C.J., Valdrè U. // Ultramicroscopy. 2003. V. 95. P. 57.
- Hourdakis E., Bryant G.W., Zimmerman N.M. // J. Appl. Phys. 2006. V. 100. No. 12. Art. No. 123306.
- Sun L., Zhou W., Jiang W. et al. // J. Phys. D. Appl. Phys. 2020. V. 53. No. 45. Art. No. 455201.
- Крютченко О.Н., Маннанов А.Ф., Носов А.А. и др. // Поверхность. Физика, химия, механика. 1994. № 6. С. 93.
- Xu N.S., Chen J., Deng S.Z. // Appl. Phys. Lett. 2000. V. 76. No. 17. P. 2463.
- Klas M., Černák P., Borkhari A.F. et al. // Vacuum. 2021. V. 191. Art. No. 110327.
- Forbes R.G. // J. Vac. Sci. Tech. B. 1999. V. 17. No. 2. P. 534.
- Kusunoki T., Sagawa M., Suzuki M. et al. // IEEE Trans. ED. 2002. V. 49. No. 6. P. 1059.
- Зыкова Е.В., Кучеренко Е.Т., Айвазов В.Я. // Радиотехн. и электрон. 1979. Т. 24. № 7. С. 1464.
- Rózsa K., Gallagher A., Donkó Z. // Phys. Rev. E. 1995. V. 52. No. 1. P. 913.
- Eckertova L. // Czech. J. Phys. B. 1989. V. 39. No. 5. P. 559.
- Eckertova L. // Int. J. Electron. 1990. V. 69. No. 1. P. 65.
- Hickmott T.W. // J. Appl. Phys. 2000. V. 87. No. 11. P. 7903.
- Hickmott T.W. // J. Appl. Phys. 2010. V. 108. No. 9. Art. No. 093703.
- Кристя В.И., Мьо Ти Ха, Фишер М.Р. // Поверхность. Рентген. синхротр. и нейтрон. исслед.2019. № 4. С. 79; Kristya V.I., Myo Thi Ha, Fisher M.R. // J. Surf. Invest.: X-Ray, Synchrotron Neutron Tech. 2019. V. 13. No. 2. P. 339.
Дополнительные файлы
