АТОМНО-СЛОЕВОЕ ОСАЖДЕНИЕ ПЛЕНОК AlMoxOy С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ ТРИХЛОРИДА АЛЮМИНИЯ ИЛИ ТРИМЕТИЛАЛЮМИНИЯ И КВАНТОВО-ХИМИЧЕСКИЕ РАСЧЕТЫ ПРОЦЕССОВ РОСТА, ВОССТАНОВЛЕНИЯ И КОНВЕРСИИ

Обложка

Цитировать

Полный текст

Открытый доступ Открытый доступ
Доступ закрыт Доступ предоставлен
Доступ закрыт Только для подписчиков

Аннотация

Проведен сравнительный анализ поверхностных процессов атомно-словеого осаждения (АСО) AlMoxOy с использованием воды, диоксидихлорида молибдена (MoO2Cl2), триметилалюминия (Al(CH3)3, ТМА) или хлорида алюминия (AlCl3). Изучено влияние природы алюминиевого прекурсора на состав и степень окисления молибдена в пленках. Методом рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии установлено, что содержание молибдена в полученных пленках ниже содержания алюминия. Также в пленках обнаружен молибден со степенями окисления Mo+6, Mo+5 и Mo+4; при этом соотношение атомной концентрации Mo+6 к восстановленным формам в случае процесса с ТМА составило 0.76 : 1, а в случае с AlCl3 — 6.3 : 1. Замена ТМА на AlCl3 в процессе АСО AlMoxOy снизило количество восстановленного Mo в пленках, а также общее содержание молибдена. Для оценки термодинамических параметров предложенных реакций для процессов АСО с использованием AlCl3 и ТМА выполнены квантово-химические расчеты методом DFT, на основе полученных данных предложено объяснение наблюдаемым различиям в пленках.

Об авторах

С. Г Гаджимурадов

Дагестанский государственный университет; Институт проблем геотермии и возобновляемой энергетики

Email: gadjimuradov.sadr1@gmail.com
филиал Федерального государственного бюджетного учреждения науки Объединенного института высоких температур РАН Махачкала, Россия; Махачкала, Россия

С. С Етмишева

Дагестанский государственный университет

Email: gadjimuradov.sadr1@gmail.com
Махачкала, Россия

А. М Максумова

Дагестанский государственный университет

Email: gadjimuradov.sadr1@gmail.com
Махачкала, Россия

С. И Сулейманов

Институт физики Дагестанского федерального исследовательского центра РАН

Email: gadjimuradov.sadr1@gmail.com
Махачкала, Россия

И. М Абдулагатов

Дагестанский государственный университет; Институт проблем геотермии и возобновляемой энергетики

Email: gadjimuradov.sadr1@gmail.com

филиал Федерального государственного бюджетного учреждения науки Объединенного института высоких температур РАН

Махачкала, Россия; Махачкала, Россия

А. И Абдулагатов

Дагестанский государственный университет

Автор, ответственный за переписку.
Email: gadjimuradov.sadr1@gmail.com
Махачкала, Россия

Список литературы

  1. Magkoev T.T., Mustafaeva D.G., Zadlishvili V.B. et al. // Materials. 2022. V. 15. P. 2245. https://doi.org/10.3390/ma15062245
  2. Харамирова Р.Н., Зайдман Н.М., Плясова Л.М. и др. // Кинетика и катализ. 1973. Т. 14. № 6. С. 1538.
  3. Haber J. The Role of Molybdenum in Catalysis / London: Climax Molybdenum Co., 1981. 479 p.
  4. Dondi M., Matteucci F., Baldi G. et al. // Dyes Pigm. 2008. V. 76. № 1. P. 179. https://doi.org/10.1016/j.dyepig.2006.08.021
  5. Davis B.E., Strandwitz N.C. // IEEE J. Photovolt. 2020. V. 10. № 3. P. 722. https://doi.org/10.1109/jphotov.2020.2973447
  6. Chowdhury S., Khokhar M.Q., Pham D.Ph. et al. // ECS J. Solid State Sci. Technol. 2022. V. 11. № 1. P. 015004. https://doi.org/10.1149/2162-8777/ac4d83
  7. Erdemir A.A. // Tribol. Lett. 2000. V. 8. № 2–3. P. 97. https://doi.org/10.1023/A:1019183101329
  8. Erdemir A.A. // Surf. Coat. Technol. 2005. V. 200. № 5–6. P. 1792. https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2005.08.054
  9. Matsumoto Y., Shimanouchi R. // Procedia Eng. 2016. V. 148. P. 158. https://doi.org/10.1016/j.proeng.2016.06.507
  10. Малахова А.А. // Изв. СПбГТИ (ТУ). Т. 1. № 27. С. 14.
  11. Кольцов С.И., Алесковский В.Б. // Журн. физ. химии. 1968. Т. 42 С. 1210
  12. Алесковский В.Б. // Журн. прикл. химии. 1974. Т. 47. № 10. С. 2145.
  13. Алесковский В.Б. Химия надмолекулярных соединений: Учеб. пособие. СПб.: Изд-во С.-Петербургского университета, 1996. 256 с.
  14. Малахова А.А., Малков А.А., Соснов Е.А. // Журн. неорган. химии. 2024. Т. 69, № 3. С. 294. https://doi.org/10.31857/s0044457x24030046
  15. Popov G., Mattinen M., Vibervaara A. et al. // J. Vac. Sci. Technol. A. 2025. Vol. 43. № 3. P. 030801. https://doi.org/10.1116/6.0004320
  16. George S.M. // Chem. Rev. 2010. V. 110. P. 111. https://doi.org/10.1021/cr900056b
  17. Максумова А.М., Бодалёв Н.С., Сулейманов С.И. и др. // Неорган. материалы. 2023. Т. 59. № 4. С. 384. https://doi.org/10.31857/S0002337X2304005X
  18. Максумова А.М., Бодалёв Н.С., Абдуласатов Н.М. и др. // Журн. неорган. химии. 2024. Т. 69. С. 110
  19. Maksumova A.M., Bodalev I.S., Gadzhimuradov S.G. et al. // Russ. J. Appl. Chem. 2024. V. 97. № 7. P. 595. https://doi.org/10.1134/S1070427224070024
  20. De Castro I.A., Datta R.S., Ou J.Z. et al. // Adv. Mater. 2017. V. 29. № 40. P. 1701619. https://doi.org/10.1002/adma.201701619
  21. Етмишева С.С., Гаджимурадов С.Г., Максумова А.М. и др. // Тезисы докл. конференции Кузнецовские чтения–2024, Новосибирск. 2024. С. 21.
  22. Neese F., Wennmohs F., Becker U. et al. // J. Chem. Phys. 2020. V. 152. P. 224108. https://doi.org/10.1063/5.0004608.21
  23. Perdew J.P., Burke K., Ernzerhof M. // Phys. Rev. Lett. 1996. V. 77. № 18. P. 1396. https://doi.org/10.1103/PhysRevLett.77.3865
  24. Weigend F., Ahlrichs R. // Phys. Chem. Chem. Phys. 2005. V. 7. № 18. P. 3297. https://doi.org/10.1039/b508541a
  25. Гаджимурадов С.Г., Сулейманов С.И., Максумова А.М. и др. // Изв. вузов. Химия и хим. технология. 2023. Т. 68. № 3. С. 50. https://doi.org/10.6060/rvkt.20256803.7132
  26. Дроздов Е.О., Гукова А.Н., Дубровенский С.Д. et al. // Журн. общ. химии. 2016. Т. 86. С. 1551. https://doi.org/10.36807/1998-9849-2022-63-89-35-44
  27. Baltrusaitis J., Mendoza-Sanchez B., Fernandez V. et al. // Appl. Surf. Sci. 2015. V. 326. P. 151. https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2014.11.077
  28. Choi J.G., Thompson L.T. // Appl. Surf. Sci. 1995. V. 93. № 2. P. 143. https://doi.org/10.1016/0169-4332(95)00317-7
  29. Clayton C.R., Lu Y.C // Surf. Interface Anal. 1989. V. 14. № 1–2. P. 66.
  30. Етмишева С.С., Максумова А.М., Гаджимурадов С.Г. и др. // Тезисы докл. XV Конференции молодых ученых по общей и неорганической химии ИОНХ РАН. Москва, 2025 г. С. 109.
  31. Oh I., Sandoval T.E., Liu T., et al. // J. Am. Chem. Soc. 2022. V. 144. № 26. P. 11757. https://doi.org/10.1021/jacs.2c03752
  32. Juppo M., Alen P., Riihelä M. et al. // Chem. Vap. Deposition. 2001. V. 7. № 5. P. 211. https://doi.org/10.1002/1521-3862(200109)7:5<211::AID-CVDE211>3.0.CO;2-L

Дополнительные файлы

Доп. файлы
Действие
1. JATS XML
Скачать

© Российская академия наук, 2025

Согласие на обработку персональных данных с помощью сервиса «Яндекс.Метрика»

1. Я (далее – «Пользователь» или «Субъект персональных данных»), осуществляя использование сайта https://journals.rcsi.science/ (далее – «Сайт»), подтверждая свою полную дееспособность даю согласие на обработку персональных данных с использованием средств автоматизации Оператору - федеральному государственному бюджетному учреждению «Российский центр научной информации» (РЦНИ), далее – «Оператор», расположенному по адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А, со следующими условиями.

2. Категории обрабатываемых данных: файлы «cookies» (куки-файлы). Файлы «cookie» – это небольшой текстовый файл, который веб-сервер может хранить в браузере Пользователя. Данные файлы веб-сервер загружает на устройство Пользователя при посещении им Сайта. При каждом следующем посещении Пользователем Сайта «cookie» файлы отправляются на Сайт Оператора. Данные файлы позволяют Сайту распознавать устройство Пользователя. Содержимое такого файла может как относиться, так и не относиться к персональным данным, в зависимости от того, содержит ли такой файл персональные данные или содержит обезличенные технические данные.

3. Цель обработки персональных данных: анализ пользовательской активности с помощью сервиса «Яндекс.Метрика».

4. Категории субъектов персональных данных: все Пользователи Сайта, которые дали согласие на обработку файлов «cookie».

5. Способы обработки: сбор, запись, систематизация, накопление, хранение, уточнение (обновление, изменение), извлечение, использование, передача (доступ, предоставление), блокирование, удаление, уничтожение персональных данных.

6. Срок обработки и хранения: до получения от Субъекта персональных данных требования о прекращении обработки/отзыва согласия.

7. Способ отзыва: заявление об отзыве в письменном виде путём его направления на адрес электронной почты Оператора: info@rcsi.science или путем письменного обращения по юридическому адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А

8. Субъект персональных данных вправе запретить своему оборудованию прием этих данных или ограничить прием этих данных. При отказе от получения таких данных или при ограничении приема данных некоторые функции Сайта могут работать некорректно. Субъект персональных данных обязуется сам настроить свое оборудование таким способом, чтобы оно обеспечивало адекватный его желаниям режим работы и уровень защиты данных файлов «cookie», Оператор не предоставляет технологических и правовых консультаций на темы подобного характера.

9. Порядок уничтожения персональных данных при достижении цели их обработки или при наступлении иных законных оснований определяется Оператором в соответствии с законодательством Российской Федерации.

10. Я согласен/согласна квалифицировать в качестве своей простой электронной подписи под настоящим Согласием и под Политикой обработки персональных данных выполнение мною следующего действия на сайте: https://journals.rcsi.science/ нажатие мною на интерфейсе с текстом: «Сайт использует сервис «Яндекс.Метрика» (который использует файлы «cookie») на элемент с текстом «Принять и продолжить».