Автор туралы ақпарат
Railko, M. Yu.
| Шығарылым | Бөлім | Атауы | Файл |
| Том 52, № 5 (2018) | Technology of Inorganic Substances and Materials | Forming Porous Structures on Silicon with a Ferroelectric for Capacitive Microelectronic and Microsystems Engineering Elements |